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摘要
在中红外波段即2.5~25µm中,存在两个大气窗口,即3~5µm和8~14µm,
在该范围内电磁波能较好地穿透大气,在该频段内进行红外探测具有重要意义。
随着对光电探测器小型化、高性能、片上集成等要求的提高,如何在红外探测
器尺寸较小的同时,提升红外探测器性能,有待解决。由于极化激元能够压缩
入射光的波长进而突破传统衍射极限,还具备强场束缚的优点,而且通过极化
激元拓扑转变,能将极化激元能量进一步汇聚到特定方向上,这使得极化激元
在减小探测器尺寸并提升其性能方面,展现出前所未有的潜力。本文对极化激
元拓扑转变及极化激元用于中红外探测器展开研究。
二氧化硅能在9μm波段产生声子极化激元,为了使极化激元能量汇聚到
特定方向,本文通过构建横向结构形成二氧化硅超表面,通过近场模拟仿真实
现双曲型声子极化激元,不仅能将波长压缩至入射光波长的1/10,还能使能量
将汇聚至两侧。之后本文构建二氧化硅超表面/石墨烯结构,利用石墨烯费米能
级可调的特点,在近场仿真中实现等离-声子极化激元的拓扑转变,其中的渠化
态色散,能使能量集中汇聚到特定方向上,其在宽度上为最初的50%,这一能
量汇聚和定向传播的特性有助于9μm波段的光电探测器增强性能和尺寸减小。
α相三氧化钼(α-MoO3)可以产生双曲型声子极化激元,为了使其极化激
元能量汇聚到特定方向,本文将α-MoO3声子极化激元和石墨烯等离激元结合,
通过近场仿真实现10.5μm频段内等离-声子极化激元的拓扑转变,极化激元将
波长压缩至原先1/10的同时,还能将能量汇聚到特定方向上,其在宽度上为最
初的50%,这一特性有助于10.5μm波段的光电探测器增强性能和尺寸减小。
针对极化激元提升探测器性能并减小尺寸这一具有前景的应用,本文基于
上述α-MoO/石墨烯异质结仿真结果及对应参数,结合光热电原理设计出不对
3
称结构的α-MoO/石墨烯探测器。通过实验探索出适用于探测器的α-MoO/石
33
墨烯异质结的转移方法,完成α-MoO/石墨烯光电探测器的制备。对探测器进
3
行测试,测试结果表明其在10.5μm光源下具有0.37mAW-1的响应度,这一响
应度较一般的石墨烯中红外探测器有一定优势。
关键词:等离激元;声子极化激元;拓扑转变;二维材料;中红外探测器
Silicondioxidecangeneratephononpolarionsinthebandof9μm.Inorderto
concentratethepolarionsenergyinaspecificdirection,thisstudyformsasilicon
dioxidemetassurfacebyconstructingatransversestructure,andrealizeshyperbolic
phononpolarionsthroughnear-fieldsimulation.Thewavelengthcannotonlybe
compressedto1/10ofthewavelengthoftheincidentlight,butalsotheenergycan
beconcentratedonbothsides.Afterthat,thisstudyconstructsthesilicondioxide
metasurface/graphenestructure,andrealizesthetopologicaltransitionof
plasmon-phononpolaritonsinnear-fieldsimulationbytakingadvantageofthe
adjustableFermienergylevelof
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