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示值误差校准结果的测量不确定度评定示例
A.1测量方法
在线激光测厚仪的示值误差使用标准厚度块进行校准,根据实际测量应用范围和条件的不
同,设定好相关的测量程序,按6.1的方法进行校准。本次评定以分辨力0.01μm的在线激光
测厚仪测量200μm的标准厚度块为例。
A.2测量模型
hH(A.1)
式中:
—μm
仪器的示值误差,;
—μm
h仪器示值平均值,;
H—标准厚度块的实际值,μm。
A.3合成标准不确定度计算公式
由式A.1,得
c1
灵敏系数1
h
c1
灵敏系数2
H
uuu
、分别表示和引入的标准不确定度,因和互不相关,则合成标准不确定度:
12hHhHc
222222(A.2)
ucucuuu
c112212
A.4标准不确定度分量
A.4.1仪器示值引入的标准不确定度分量u1
A.4.1.1测量重复性引入的标准不确定度分量u
测厚仪的测量重复性引入的不确定度分量可以通过10次重复连续测量得到,测量结果为
199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.96μm、199.97μm、199.97μm、
199.95μm、199.97μm,计算单次测量实验标准偏差为:
n
(hh)2
i1i(A.3)
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