JJF-在线式激光测厚仪不确定度评定.pdfVIP

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示值误差校准结果的测量不确定度评定示例

A.1测量方法

在线激光测厚仪的示值误差使用标准厚度块进行校准,根据实际测量应用范围和条件的不

同,设定好相关的测量程序,按6.1的方法进行校准。本次评定以分辨力0.01μm的在线激光

测厚仪测量200μm的标准厚度块为例。

A.2测量模型

hH(A.1)

式中:

—μm

仪器的示值误差,;

—μm

h仪器示值平均值,;

H—标准厚度块的实际值,μm。

A.3合成标准不确定度计算公式

由式A.1,得



c1

灵敏系数1

h



c1

灵敏系数2

H

uuu

、分别表示和引入的标准不确定度,因和互不相关,则合成标准不确定度:

12hHhHc

222222(A.2)

ucucuuu

c112212

A.4标准不确定度分量

A.4.1仪器示值引入的标准不确定度分量u1

A.4.1.1测量重复性引入的标准不确定度分量u

测厚仪的测量重复性引入的不确定度分量可以通过10次重复连续测量得到,测量结果为

199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.96μm、199.97μm、199.97μm、

199.95μm、199.97μm,计算单次测量实验标准偏差为:

n

(hh)2

i1i(A.3)

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