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第37卷第3期化学研究与应用Vol.37,No.3
2025年3月ChemicalResearchandApplicationMar.,2025
文章编号：1004-1656(2025)03-0696-06
高温FTIR气体分析仪检测微量氟化物的评价
胡树国,尹冬梅,杜秋芳,方梦醒,张体强
（中国计量科学研究院，北京100029）
摘要：利用气体稀释装置发生（5~100)μmol·mol-的氮中四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟甲烷和六氟丙
烯气体标准，考察了其在高温傅里叶红外气体分析仪上的重复性和线性；通过两种方法计算了的5种氟化物
在仪器上的检出限和不确定度。实验结果表明含量为（5~100)μmol·mol-的5种氟化物在仪器上单独测量
的重复性均小于0.1%,线性系数接近0.9999,检出限小于0.1μmol·mol-。通过对四氟化碳、六氟乙烷和八
氟丙烷混合气的测量发现，三种化合物之间存在一定干扰，对混合的氟化物定量时需要重新进行方法确认。
检出限的测量与使用标准物质的含量、仪器噪声和仪器线性均存在相关性。
关键词：高温傅里叶红外；气体分析仪；氟化物；检出限
文献标志码：A
中图分类号：0659.37
EvaluationofdetectionoftracefluoridebyhightemperatureFTIRgasanalyzer
HUShu-guo,YINDong-mei,DUQiu-fang,FangMeng-xing,ZHANGTi-qiang
(NationalInstituteofMetrology,Beijing100029,China)
Abstract:Therepeatabilityandlinearityoftetrafluoromethane,hexafluoroethane,octafluoropropane,trifluoromethaneandhexafluoro-
propylenestandardgasesinnitrogenatlevel(5~100)μmol/molproducedbyagasdilutiondevicewereinvestigatedonahightem-
peratureFourierInfraredgasanalyzer.Thelimitofdetectionanduncertaintiesofthesefivefluoridescompoundsontheinstrument
werecalculatedusingtwomethods.Theexperimentalresultsdemonstratedthattherepeatabilityoffivefluorideswithintherangeof
(5~100)μmol·mol-waslessthan0.1%,thelinearcoefficientwascloseto0.9999,andthelimitofdetectionwaslessthan
0.1μmol·mol-1.Measurementofthemixturecontainingcarbontetrafluoride,hexafluoroethaneandoctafluoropropanerevealedthat
someinterferenceamongthesethreecompounds;therefore,itisnecessarytoreconfirmthequantificationmethodofmixedfluorides.
Thelimitofdetectionisinfluencedbyfactorssuch
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