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TecnaiTEM透射电子显微镜操作规程

1、开始实验前

1.检查主机电源和真空、高压按钮，正常情况如下：On绿灯暗，Off红灯亮，Vac白灯

亮，HT白灯亮。

2.打开液晶屏，最大化MicroscopeControl软件用户界面。

3.检查真空和高压，正常情况如下：MicroscopeControl软件中Workset→Setup→Vacuum

（User）窗口中各项真空值数字颜色是绿色，数值依次为1，6，32，35，85。HighTension

键为黄色，电压指示200（300）KV。

4.物镜光阑和选区光阑应在空挡，样品台位置坐标x，y，z值应均为0。

5.V7阀关。

6.给冷阱加满液氮，然后等待15分钟，观察Column真空值，应为6。

2、插入样品台

1.握住样品杆后端，使位于样品杆前半段的小销钉对准镜筒上的白色示意

线，直插入镜筒至不动，松手等待。待软件提示真空抽好，逆时针旋转样品杆至

不动，再随着吸力慢送样品杆入镜筒。

2.使用单倾台时，软件中样品杆选择项为缺省状态。

3.鼠标点击Setup→FEGControl窗口中的Operate按钮，等待灯丝电流升

至饱和值。

4.Column真空值稳定为6时，可以开始实验。

3、开V7阀，开始实验

1.开V7阀，即点击Setup→Vacuum（User）窗口中的Col.ValvesClosed按

钮。

2.左操作面板上的Intensity旋钮、电子束移动控制球，和右操作面板上的

样品平动控制球配合使用，找亮，找样品。

3.调节样品高度，消聚光镜像散，物镜像散（可利用CCD和DM软件辅助

调节）。

4.开始实验。

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4、CCD图像观察和采集（TEM明场）

1.找到需要的样品，选择适当的放大倍数，使样品位于电镜主机荧光屏中心

小圆圈标记附近，调节右操作面板上的Z-axis，使样品尽量接近正焦位置。

2.散开光斑至充满荧光屏，然后抬起荧光屏。

3.鼠标点击MicroscopeControl软件中Workset→CCD→CCD/TVCamera窗

口中的Preview按钮，等待CCD采集样品像，并显示在DM软件窗口中。

4.旋转左操作面板上的Intensity旋钮，调节CCD图像到合适亮度，仔细调

节右操作面板上的Focus按钮，使图像焦距满足需要。

5.鼠标点击CCD/TVCamera窗口中的Acquire按钮，采集图像。

5、完成实验后

1.放大倍数：38000×，光斑散开

2.关V7阀（鼠标点击Setup→Vacuum（User）窗口中Col.ValvesClosed按

钮），盖观察窗盖。

3.退出物镜光阑，选区光阑。

4.样品台回零：鼠标点击Search窗口中右上角▶，再点击Holder键，查看

屏幕右下角x，y，z值是否回零。

5.拔出样品台：直拔至不动，顺时针转至不动，再直拔出。

6.降灯丝电流：鼠标点击Setup→FEGControl窗口中的Operate按钮。

7.烘液氮：1）取下液氮罐，多余液氮倒回大罐中；

2）放上塑料圆盘，接水滴；

3）鼠标点击Setup→Vacuum（User）窗口中右上角的▶，点击

CryoCycle按钮，等待涡轮分子泵启动（Turboon按钮由灰色变为黄色）。

8.关闭液晶屏。

说明：如果操作软件为MicroscopeControl，若软件界面中按钮为黄色时，

表示此按钮代表的功能正在使用中；若按钮为灰色，字为黑色，表示此按钮代表

的功能处于准备作用状态；若按钮为灰色，字为浅色表示此按钮代表的功能尚不

能使用。

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注意事项：

1.不要使用CCD来采集电子衍射图片。