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一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的进程中,激光直写技术作为一种极具创新性的精密加工手段,凭借其独特的优势,在众多领域中扮演着日益关键的角色。从微纳加工领域中对微小结构的精细雕琢,到集成电路制造里实现芯片的快速原型制作与定制化生产;从光电子器件制作时对高精度光学元件的打造,到生物医学工程中用于微流控芯片、生物传感器和组织工程支架的制造,激光直写技术的身影无处不在。它以高能量密度的激光束为“画笔”,通过精确控制激光束的强度、焦点位置和扫描速度等参数,在材料表面或内部“书写”出所需的图案或结构,宛如一位技艺精湛的工匠,在微观世界中创造着无限可能。
在微纳加工领域,激光直写技
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