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浙江奥首材料科技有限公司企业标准
Q/330802AUF014-2023
大尺寸硅片研磨悬浮助剂
2023-4-25发布2023-5-1实施
浙江奥首材料科技有限公司发布
Q/330802AUF014-2023
目录
1范围1
2规范性引用文件1
3要求1
4试验方法1
4.1取样1
4.3pH值2
4.4电导率2
4.5悬浮性2
4.6泡沫高度
3
4.7消泡时间3
4.8接触角3
4.9Zeta电位4
6检验规则5
6.1出厂检验
5
6.2判定规则5
7标志、包装、运输和贮存5
7.1标志5
7.2包装5
7.3运输5
7.4贮存5
Q/330802AUF014-2023
前言
本标准按照GB/T1.1－2020给出的规则起草。
本标准由浙江奥首材料科技有限公司提出并归口。
本标准起草单位：浙江奥首材料科技有限公司。
本标准主要起草人：李传强。
本标准替代了Q/330802AUF014-2022，主要修订内容为：
——修改了大尺寸硅片研磨悬浮助剂的技术指标要求，删除了外观、密度和粘度指标，修改了的范围，增加
PH
了电导率、悬浮性、电位，接触角、泡沫高度、消泡时间、移除率、、、脏污率和防锈率技术指标。
ZetaTTVRa
Q/330802AUF014-2023
1范围
本标准规定了大尺寸硅片研磨悬浮助剂的要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输、
贮存。
本标准品是由非离子表面活性剂、阴离子表面活性剂、碱、分散剂、悬浮剂、水等组成的水基研磨
液，适用于硅片、蓝宝石衬底片等硬脆材料的研磨与减薄。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡
是不注
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