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用于处理衬底的多站处理模块包括至少一个衬底移交站，其被设置在第一传送平面中。该至少一个衬底移交站被配置成执行多个衬底中的至少一个衬底的移交。该多站处理模块还包括多个衬底处理站，其被设置在第二传送平面中围绕衬底传送区域。该第二传送平面被设置成平行于且偏离该第一传送平面。该多个衬底处理站中的每一个被配置成处理该多个衬底中的一或多个。该多站处理模块还包括机械手，其被设置在该衬底传送区域中。该机械手被配置成在该移交期间将该多个衬底中的该一或多个在该第一传送平面与该第二传送平面之间移动。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118077042A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202280068017.3(74)专利代理机构上海胜康律师事务所31263
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