SJT 10626-1995键合金丝中微量杂质的ICP发射光谱分析方法.pdf

L 90SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10626--1995键合金丝中杂质元素的ICP-AES测定方法Method for determining impurities in gold wire forsemiconductor lead bonding by ICP-AES1995.04-22发布1995-10-01实施中华人民共和国电子工业部发布 中华人民共和国电子行业标准键合金丝中杂质元素的SJ/T 10626- 1995ICP-AES 测定方法Method for determining impurities in gold wire forsemiconductor lead bonding by ICP-AES主题内容与适用范围I1.1 主题内容本标准规定了电感耦合等离子体发射光谱对键合金丝中杂质元素的测定方法。1.2 适用范围本标准适用于键合金丝中银、铜、钙、镁、锰、铁、铋、铅元素的测定。其测定范围：铅、铋为0.0008 % ~ 0. 0500% ,其余为 0.0005 ~ 0. 0500% 。2方法原理概要本方法采用主水溶解试样，挥发除去大部分酸后，加入过氧化氢，在水浴中加热使金沉淀析出，离心分离后，上清液引入等离子体，按表1所列各元素分析线波长进行其杂质元素含量的测定。表1波 长波长素元元素nmnmFe259.94Ag328.07Cu324.75Mn257.61CaPb393.37220.35 或283.31279.55Bi223.06 或 306.77Mg3试剂3.1无水乙醇：优级纯。3.2丙酮：分析纯。3.3过氧化氢：MOS纯。3.4电子级水:EV-Ⅱ级。1995-10-01实施中华人民共和国电子工业部1995-04-22批准 SJ/T 10626 -- 19953.5 硝酸(1 +1):采用 MOS 纯硝酸配制。3.6盐酸(1+1);采用 MOS纯盐酸配制。3.7盐酸(1+10)):采用 MOS纯盐酸配制。3.8 稀王水(硝酸:盐酸;水=1:3:4:采用 MOS纯硝酸和盐酸配制。3.9清洗剂:按乙醇:丙酮=1:4 的比例配制。3.10标准溶液：3.10.1银标准贮存溶液称1.0000g纯银粉（99.95%以上），加入25ml硝酸（见3.5），加热溶解完全后，继续加热以除去氮的氧化物。冷却至室温，移入1000ml容量瓶中，以水（见3.4)定容，混匀。此溶液Iml含 1mg银。3.10.2铜标准贮存溶液称取1.2518g预先在105～110℃干燥至恒重的氧化铜（99.99%以上）,低温加热溶于30ml盐酸（见3.6）中，加入20ml水（见3.4），加热溶解，冷却至室温，移入1000ml容量瓶中，用水(见 3.4)定容,混匀。此溶液 1ml 含 1mg铜。3.10.3钙标准贮存溶液称取2.4972g预先在105～110℃干燥至恒重的碳酸钙（99.99%以上）于300m1烧杯中加入20ml水（见3.4），然后滴加盐酸（3.6）。至完全溶解，煮沸除去二氧化碳。再加入10ml盐酸(3.6)。冷却,移入1000ml容量瓶中，用水(见3.4)定容,混勾。此溶液1ml含1mg钙。3.10.4镁标准贮存溶液称取1.0000g镁（99.99%以上），先加20ml水（见3.4），然后慢慢加人20ml盐酸（见3.6)。待溶解完全后，移入1000ml容量瓶中，以水(见3.4)定容，混匀。此溶液1ml含1mg镁。3.10.5锰标准贮存溶液称取1.5825g预先在105~110℃干燥至恒重的二氧化锰于烧杯中，加人5ml浓盐酸，滴加4滴过氧化氢，加热溶解后，再加入5ml盐酸（见3.6），冷却至室温，移入1000ml容量瓶中，以水(见 3.4)定容,混匀。此溶液 1ml含 1mg锰。3.10.6铁标准贮存溶液称取1.4298g预先在105～110℃干燥至恒重的三氧化二铁（99.99%以上），低温加热溶于20ml(见3.6)盐酸中，冷却至室温，移入1000ml容量瓶中，用水（见3.4)定容，混匀。此溶液 1ml 含 1mg铁。3.10.7铅标准贮存溶液称取1.5985g预先在105～110℃干燥至恒重的硝酸铅于300ml烧杯中，加30ml盐酸（见3.6)和10ml硝酸（见3.5)。待溶解完全后，移入1000ml容量瓶中，以水（见3.4)定容，摇匀。此溶液中1ml 含 1mg铅。3.10.8标准贮存溶液称取1.1150g预先在105～110℃干燥至恒重的氧化铋（99.99%以上）于烧杯中，加50ml硝酸（见3.5),加热溶解。待溶解完全后,冷至室温，移人1000ml容量瓶中(容量瓶中预先加人50ml硝酸(见3.5),用水(见3.4)定容，摇匀。此溶液1ml含有1mg铋。3.10.9银系列标准溶液用银贮存溶液逐级稀释成一套不同浓度的校