JB_T 7673-2011真空技术 真空设备型号编制方法.pdf

ICS 23.160J78:备案号：34896—2012中华人民共和国机械行业标准JB/T 7673---2011代替 JB/T 7673—1995真空技术真空设备型号编制方法Vacuum technology--Methods for compiling vacuum equipment models2011-12-20 发布2012-04-01 实施中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T 7673—2011目次前言1范围2规范性引用文件3术语和定义.4真空设备型号组成..4.1通则.4.2 真空泵真空泵机组.4.34.4真空阀门..4.5真空镀膜机..5真空设备型号示例5.1真空泵5.2机组5.3阀门.85.4镀膜机.参考文献.11表1真空泵名称表2真空泵特征表3阀门使用的真空范围表4阀门结构型式，表 5阀门驱动方式表 6阀门通道型式。表7阀门辅助结构型式表 8 膜层沉积原理表9镀膜机结构特征表10镀膜机用途特征 JB/T 7673—20115.2机组示例1：JK～ 400主泵进气口径为400mm扩散泵机组示例2：J3L－320主泵抽气速率为320L/s三极溅射离子泵机组示例3：F-250主泵进气口径为250mm分子泵机组示例 4:JZJ2H 600 2 4 A第一次改型设计配比代号（中间泵抽速300L/s，前级泵抽速70L/s）配比代号（主泵抽速600L/s，中间泵抽速300L/s）主泵抽气速率为600L/s双级滑阀真空泵 （前级泵）罗茨泵机组（中间泵为罗茨泵）注：有关罗茨泵机组型号的内容、含义及说明可参照GB/T6921—2004。5.3阀门示例1：GDQ-J320公称通径为320mm直角式气动挡板高真空阀示例2:DDC-JQ50公称通径为50mm带充气直角式·磁动挡板低真空阀示例3：GI－50公称通径为50 mm蝶型高真空阀8 JB/T 7673--2011示例4：DW-2A第一次改型设计公称通径为 2 mm微调低真空阀示例5：CD-J25公称通径为 25mm直角式-挡板超高真空阀示例6:CCQ-100公称通径为 100 mm气动插板超高真空阀示例7：CDY-320公称通径为320mm液动挡板-超高真空阀5.4镀膜机示例 1：ZZ B -- S 630 A第一次改型设计镀膜室圆筒内径为630mm塑料镀膜半连续式电阻蒸发示例 2：ZZW- G 1 000镀膜室圆筒内径为1000mm硒鼓镀膜卧式电阻加热蒸发示例3：ZSX- S 630 B第二次改型设计镀膜室箱体内宽为630mm塑料镀膜箱式电子束加热蒸发9 JB/T 7673---2011示例 4:JP Y320镀膜室圆筒内径为320mm-电气元件镀膜主泵为分子泵平面溅射示例5：3JTN- H 400镀膜室圆筒内径为400mm装饰镀膜主泵为冷凝泵三极同轴溅射示例6：LD X- E 500镀膜室箱体内宽为500mm冷反光碗镀膜箱式多弧阴极离子镀膜示例7：HLW- B 800镀膜室圆筒内径为800mm玻璃镀膜卧式等离子化学气相沉积10 JB/T 7673—2011参考文献GB/T 6912--2004罗茨真空泵机组[1] [2] JB/T 8540水蒸气喷射真空泵11 中华人民共和国机械行业标准真空技术文真空设备型号编制方法JB/T 7673—2011*机械工业出版社出版发行北京市百万庄大街22号邮政编码：100037*210mm×297mm－1印张·27千字2012年8月第1版第1次印刷*书号：15111·10516网址：编辑部电话：（010销中心电话：（010面无防伪标均为盗版JB/T 7673-2011版权专有侵权必究 JB/T 7673-—2011前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草，本标准代替JB/T7673—1995《真空设备型号编制方法》，与JB/T7673—1995相比主要技术变化如下：增加了前言;为了使用的方便增加了目次;增加了第2章“规范性引用文件”;-增加了第3章“术语和定义”；一所有表增加了标题;一一增加了表1中的涡旋真空泵等的型号“WX、ZH、LC、LG、IQ、YK、SK”，表2中的真空泵特征型号“F、P、Q、J”，表6中阀门通导形式“D”，表8中的镀膜原理型号“ZLF、LR、HYJ、HF”，表9中的镀膜机特征型号“F、J、N”，表10中的镀膜机用途特征型号“B、I、E”；增加了表7阀门辅助结构型式，以后的表号依次顺延；修改了镀膜室内部尺寸表示法，用一个数表示；重新编制了表8中的溅射镀膜原理型号；删除了表1中的余摆线真空泵、单级多旋片式真空泵、汞扩散真空泵、回旋泵（弹道泵）、复合式离子泵，表2中的“D多式多元”、“C磁控”，表9中的镀膜机特征型号“P、T、A”，表10中的镀膜