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本发明公开了一种碳化硅废料液相法回收用坩埚、回收装置及回收方法，涉及碳化硅晶体制备领域。该碳化硅废料液相法回收用坩埚包括石墨坩埚及石墨内衬，石墨内衬设置于石墨坩埚的内部，石墨内衬围成顶部开口的生长腔室，生长腔室用于容置硅料，石墨内衬的外表面与石墨坩埚的内表面围成废料夹腔，废料夹腔用于容置合金废料，石墨内衬上贯穿设置有多个漏孔，废料夹腔通过多个漏孔与生长腔室连通。本发明提供的碳化硅废料液相法回收用坩埚能够利用液相法对合金废料中的晶体原料残留进行回收，并能够保证碳化硅晶体稳定生长，提升产能。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116334737 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310383473.3 (22)申请日 2023.04.11 (71)申请人 通威微电子有限公司 地址 610
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