- 1、本文档共137页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第二篇透射电子显微分析第1页/共137页
2本章主要内容9.1 透射电镜的结构及其成像原理9.2 电子衍射9.3 透射电子显微镜成像原理与图象解释9.4 透射电镜样品的制备方法第2页/共137页
39.1 透射电镜的结构及其成像原理 透射电镜的结构JEM-2010F透射电镜第3页/共137页
4光源中间象物镜试样聚光镜目镜毛玻璃电子镜聚光镜试样物镜中间象投影镜观察屏光学显微镜和电镜光路图比较第4页/共137页
5 电子光学系统 从结构上看,透射电镜和光学透镜非常类似,根据其功能的不同可分为以下几部分: 1)照明部分 (1)阴极:又称灯丝,一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 (2)阳极:加速从阴极发射出的电子。为了安全,一般都是阳极接地,阴极带有负高压。 (3)控制极:会聚电子束;控制电子束电流大小,调节象的亮度。 电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大部分组成。第5页/共137页
6 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能,因此,人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 (4)聚光镜:由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用,电子束穿过阳极小孔后,又逐渐变粗,射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的,它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。第6页/共137页
7阴极(接负高压)控制极(比阴极负100~1000伏)阳极电子束聚光镜试样照明部分示意图第7页/共137页
82)成像放大部分 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 (1)试样室:位于照明部分和物镜之间,它的主要作用是通过试样台承载试样,移动试样。 (2)物镜:电镜的最关键的部分,其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上,构成含有试样结构信息的散射花样或衍射花样;将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其象平面上,构成与试样组织相对应的显微像。投射电镜的好坏,很大程度上取决于物镜的好坏。 物镜的最短焦距可达1毫米,放大倍数约为300倍,最佳分辨本领可达1埃,目前,实际的分辨本领为2埃。第8页/共137页
9 为了减小物镜的球差和提高像的衬度,在物镜极靴进口表面和物镜后焦面上还各放一个光阑,物镜光阑(防止物镜污染)和衬度光阑(提高衬度) 在分析电镜中,使用的皆为双物镜加辅助透镜,试样置于上下物镜之间,上物镜起强聚光作用,下物镜起成象放大作用,辅助透镜是为了进一步改善场对称性而加入的。第9页/共137页
10 近代高性能电镜一般都设有两个中间镜,两个投影镜。三级放大成像和极低放大成像示意图如下所示:第10页/共137页
11(a)高放大率(b)衍射(c)低放大率 三次像(荧光屏)物物镜衍射谱一次像中间镜二次像投影镜选区光阑第11页/共137页
12 (3)中间镜:中间镜是一个弱透镜,其焦距很长,放大倍数可通过调节励磁电流来改变。在电镜操作过程中,主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。另外,可以通过改变中间镜的励磁电流,在电镜的成像模式和衍射模式之间切换。为了得到一张清晰的放大像,可以通过改变中间镜的励磁电流,使中间镜的物平面正好和物镜的像平面重合(成像模式)。 另外,可以改变中间镜的励磁电流,使其物平面和物镜的后焦面重合,这时可以在荧光屏上得到电子衍射花样,这就是所谓电子显微镜中的电子衍射操作(衍射模式)。第12页/共137页
13 (4)投影镜:投影镜的作用是把经中间镜放大(或缩小)的像(或电子衍射花样)进一步放大,并投影到荧光屏上,它和物镜一样,是一个短焦距的强磁透镜。第13页/共137页
143)显像部分 这部分由观察室和照相机构组成。在分析电镜中,还有探测器和电子能量分析附件。如下图所示。电子能量分析仪扫描发生仪显象管和X-Y记录仪数据处理放大器电子束扫描线圈入射光阑能量选择光阑探测器扫描电子衍射和电子能谱分析附件示意图第14页/共137页
15 真空系统 为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用,而不与空气分子发生碰撞,因此,整个电子通道从电子枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内,一般真空度为10-4~ 10-7 毫米汞柱。第15页/共137页
16第16页/共137页
17 供电系统 透射电镜需要两部分电源:一是供给电子枪的高压部分,二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。所以,对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。 近代仪器除了上述电源部分外,尚
文档评论(0)