贝塞尔光束发射器及贝塞尔光束发射器的制作方法.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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贝塞尔光束发射器及贝塞尔光束发射器的制作方法.pdf

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本公开实施例提供了一种贝塞尔光束发射器及贝塞尔光束发射器的制作方法，该贝塞尔光束发射器包括：有源层，有源层包括用于产生光束的发光子层；上分布反射镜层，上分布反射镜层位于有源层的一侧，上分布反射镜层包括偶数数量个第一折射率子层；下分布反射镜层，下分布反射镜层位于有源层的另一侧，下分布反射镜层包括偶数数量个第二折射率子层，第一折射率子层的数量小于第二折射率子层的数量；欧姆接触层，欧姆接触层位于上分布反射镜层的远离有源层的一侧，欧姆接触层用于连接电极；光束转换层，光束转换层位于欧姆接触层远离上分布反射

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113381293 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110453120.7 H01S 5/34 (2006.01)