一种单晶硅棒开方夹持装置.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种单晶硅棒开方夹持装置.pdf

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本发明涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及一种单晶硅棒开方夹持装置，包括前端夹持机构、尾端夹持机构和夹持驱动件，前端夹持机构包括前端安装架和旋转夹持组件，旋转夹持组件包括旋转电机、中心轴、球头座、弹性膜片和顶销，中心轴远离旋转电机的端面具有球形凸部，球头座朝向中心轴的端面具有球形凹部，球头座的另一端面上设置有顶销，中心轴的球形凸部与球头座的球形凹部面接触配合，所述中心轴与球头座之间设置有弹性膜片；尾端夹持机构包括尾端安装架和移动夹持组件，移动夹持组件包括旋转轴和顶销，旋转轴可转动的固定于尾端安装架

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112536928 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011410623.8 (22)申请日 2020.12.04 (71)申请人福州天瑞线锯科技有限公司