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本发明涉及一种扫描电镜二次电子图像超分辨方法和系统，方法包括获取SEM图像数据集；构建超分辨网络模型，使用SEM图像数据集对超分辨网络模型进行训练，得到训练好的最优模型参数，加载最优模型参数供SEM图像进行超分辨率处理，获得超分辨率处理后的SEM图像；超分辨网络模型包括浅层特征提取单元、深层特征提取单元、上采样单元和图像重建单元，首先使用浅层特征提取单元对输入的SEM图像进行浅层特征提取，然后经过深层特征提取单元提取深层特征，最后通过上采样单元和图像重建单元对SEM图像进行放大和重建。本发明能够
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116091317 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310052289.0 (22)申请日 2023.02.02 (71)申请人 苏州大学 地址 215000
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