微机械光学构件和制造方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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微机械光学构件和制造方法.pdf

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本发明基于一种微机械光学构件，其包括：衬底(10)、间隔保持器(20)和盖件(30)，它们彼此相叠地布置且限界严密密封的腔(40)，其中，半导体激光器(50)在该腔中布置在衬底上。本发明的核心在于，在半导体激光器的光束路径(51)中布置有光学元件(100)，该光学元件固定在间隔保持器上。本发明也涉及一种用于制造微机械光学构件的方法。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114503379 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080069676.X (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司