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一种用于制造具有非常严密的关键尺寸控制的高深宽比特征的工具和方法,其用于通过以下方式来处理衬底:封装掩模以防止在回蚀刻期间退化,从而防止特征衬垫材料在沉积‑蚀刻循环期间夹断开口。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114503240 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080069284.3 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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