GB/T 25915.10-2021洁净室及相关受控环境　第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.10 2021ISO 14644-102013 洁净室及相关受控环境 第 部分: 10 按化学物浓度划分表面洁净度等级 — Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments : Part10Classificationofsurfacecleanlinessb chemicalconcentration y ( : , ) ISO14644-102013IDT 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT25915.10 2021ISO 14644-102013 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 分级 ……………………………………………………………………………………………………… 2 / 、 ……………………………………………… 5 化学污染的表面洁净度检测 测量 监测及符合性证明 4 ( ) ………………………………………………………… 附录 资料性 表面化学物各种浓度的换算 A 6 ( ) ……………………………………………………………… 附录 资料性 影响测试与结果的因素 B 12 ( ) ……………………………………………………………… 附录 资料性 洁净度评定的基本要素 C 13 (