GB/T 25915.12-2021洁净室及相关受控环境　第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf

ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.12 2021ISO14644-122018 洁净室及相关受控环境 第 部分: 12 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 — : Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Part12 Secificationsfor p monitorin ofaircleanlinessb nanoscale articleconcentration g y p ( : , ) ISO14644-122018 IDT 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT25915.12 2021ISO14644-122018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 监测 ……………………………………………………………………………………………………… 3 5 检测报告 ………………………………………………………………………………………………… 3 ( ) …………………………………………… 附录 资料性 以凝结粒子计数器进行监测的参照方法 A 5 ( ) …………………………………………………………… 附录 资料性 粒子计数效率和分割粒径 B 8 参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 10 / — / : GBT25915.12 2021ISO14644-122018 前 言