GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.2 2021ISO14644-22015 代替 / — GBT25915.2 2010 洁净室及相关受控环境 : 第 部分 洁净室空气粒子浓度的监测 2 — : Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Part2 Monitorin to g rovideevidenceofcleanroom erformancerelatedtoair p p cleanlinessb articleconcentration yp ( : , ) ISO14644-22015 IDT 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT25915.2 2021ISO14644-22015 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅴ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 、 ……………………………………………………………………… 4 监测计划的制定 执行及持续改进 2 5 按粒子浓度定期划分空气洁净度 ……………………………………………………………………… 3 ( ) ……………………………………………………………… 附录 资料性 制定监测计划考虑事项 A 4 ( ) …………………………………………………