GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境　第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.8 2021ISO14644-82013 代替 / — GBT25915.8 2010 洁净室及相关受控环境 : 第 部分 按化学物浓度划分空气洁净度 8 ( )等级 ACC — Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments : ( ) Part8Classificationofaircleanlinessb chemicalconcentrationACC y ( : , ) ISO14644-82013IDT 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT25915.8 2021ISO14644-82013 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 分级 ……………………………………………………………………………………………………… 3 5 合格性的证明 …………………………………………………………………………………………… 5 ( ) ……………………………………………………………………… 附录 资料性 影响 的因素 A ACC 6 ( ) …………………………………………………………………………… 附录 资料性 常见污染物 B 9 ( ) ………………………………………………………………………… 附录 资料性 常用测量方法 C