非挥发性阻变存储器阻变机理及性能研究微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 随着半导体技术节点的不断向前推进，目前主流的基于电荷存储机制的浮栅 Flash存储器正面临着严重的技术挑战，如浮栅耦合、电荷泄漏、相邻单元之间 的串扰问题等，因此亟需寻找下一代非挥发性存储器。目前，国际上研究较多的 新型非挥发性存储器主要有：相变存储器(PRAM)，磁阻存储器(MRAM)，铁电 存储器(FRAM)和可逆的电致阻变随机存储器(RRAM)，其中对RRAM的研究如 火如荼，RRAM因其结构简单、功耗低、器件密度高、编程／擦写速度快、且与 CMOS工艺兼容等一系列突出优点而成为替代多晶硅浮栅存储器的有力竞争者 之一，其作为一种采用非电荷存储机制的存储器在32 nm工艺节点以下将有很 大的发展空间。 目前，制约RRAM技术发展和应用的主要瓶颈之一是发生电阻转变效应的 物理机制、电荷存储机理尚不明确，同时，RRAM器件在稳定性、均匀性、可 重复性、擦写速度以及数据保持性等方面都还存在问题，而目前对器件的研究主 要是通过实验研制、显微表征及实时监测基础上进行观察和分析，存在实验平台 要求高、表征和测试仪器高端、实验周期长等问题。针对上述问题，本论文结合 并行计算与第一性原理开展多层次、多维度的模拟手段，从物理角度解释载流子 的输运过程和存储机理，通过掺杂、制造缺陷和控制化合价等手段对阻变材料进 行改性，给出材料的微观参数和存储器的宏观电学量的定量关系，为RRAM的 优化设计及可靠集成提供理论指导和设计工具。 针对RRAM的研究现状进行统计，了解其阻变的宏观特性等方面的不足， 研究了纳米尺度下RRAM二元金属氧化物阻变材料聊犰的氧空位(％)陷阱效 应、掺杂效应(Ag)等对器件特性的影响以及阻变存储器的微观阻变机理。研究表 明单独％缺陷和单独Ag杂质均可以在禁带中引入杂质能级，且都分别可以形 成导电细丝；针对％和Ag都能形成导电细丝的情况，研究了Ag和％共掺杂 的复合缺陷体系，结果表明共掺杂体系的导电性能增强、稳定性更好；而在相同 浓度下，Ag杂质能级能够通过Ag离子的作用加以Hf离子的辅助下形成导电细 丝，而％缺陷能级没有导电细丝的形成。且在％存在的前提下，Ag离子的迁 非挥发性阻变存储器阻变机理及性能研究移将变得更加容易，即％可以辅助Ag离子迁移，增强了体系电化学性能。 非挥发性阻变存储器阻变机理及性能研究 移将变得更加容易，即％可以辅助Ag离子迁移，增强了体系电化学性能。 电极以及阻变材料的选择将直接影响着复合材料的性能，其界面结合的状态 对整个阻变存储器的性能起着至关重要的作用，对比研究了Cu／Hf02不同切面组 合的复合材料界面模型。结果表明，复合材料的界面不同，对RRAM器件的性 能会产生很大影响。在研究的所有界面体系中，Cu(1 1 1)／Hf02(OlO)失配率最小， 界面束缚能最大，界面体系相对最稳定；且只有Cu(111)／Hf02(OlO)复合材料体系 出现了垂直Cu电极方向完整连通的电子通道，界面处有电子的相互转移、成键 的存在，表明电子在此方向上具有局域性、连通性，与阻变存储器(RRAM)器件 导通方向一致。针对Cu(111)／Hf02(OlO)复合材料界面体系，探讨了其整体性能， 并研究了电极对界面处及阻变材料的影响。研究表明越靠近界面处，Cu和硒 缺陷越容易形成和存在，Cu原子越容易进入Hf02体内，也即Cu将呈阶梯状往 Hf02内部扩散以形成缺陷体系，在外加电压下易发生电化学反应，从而导致Cu 导电细丝的形成与断裂，更有利于RRAM器件电阻开关特性的产生。 对二元金属氧化物阻变材料进行掺杂可以改变其存储特性、电学特性，而对 于掺杂元素进入材料体内后所具有的价电子数或化合价态的研究较少，鉴于此， 研究了掺杂金属元素进入阻变材料后是否具有化合价态以及不同化合价态对阻 变存储器材料性能的影响，首先通过电子亲和能以及缺陷形成能确定掺杂元素得 失电子情况；其次通过差分电荷密度和修正的Bader分析确定了得失电子的具体 位置；最后系统研究了掺杂元素具有不同化合价态对RRAM阻变材料及其性能 的影响。 结果将为RRAM存储器的制备及性能提高提供理论指导和设计工具，必将 在更深层次上理解和发展RRAM起到关键作用。 关键词：阻变存储器；存储机理；第一性原理；掺杂；复合材料界面 摘要Abstract 摘要 Abstract With the development of semiconductor technology node，the Flash memory confronts many problems，such as the coupling between floating gates，charge leakage， cross—coupling between cells and S