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太阳能单晶硅片生产废水处理工程设计和运行 　　摘要：本文介绍了单晶硅棒在开断、研磨成硅片生产过程中产生的废水水质及特征。针对该废水特点，采用以生物处理为主，多项预处理为辅的工艺，即气浮―水解酸化-接触氧化处理工艺。实际工程运行结果表明，该处理工艺处理效率高，处理出水COD、BOD、SS分别为53mg/L,14.5mg/L,47.2mg/L， pH 7.41，超过设计指标和《辽宁省污水综合排放标准》（DB21/1627-2008）标准要求。 　　关键词： 单晶硅片生产废水，气浮，水解酸化， 接触氧化 　　Abstract: this paper introduces the silicon rods in the open circuit, grinding into silicon wafer production process and characteristics of wastewater quality of produce. According to the characteristics of wastewater, the biological treatment is given priority to, a number of pretreatment, supplemented by technology, namely floating-hydrolysis acidification-contact oxidation process. The actual engineering operation results show that the treatment process of high efficiency, water treatment of COD, BOD, SS were 53 mg/L, 14.5 mg/L, 47.2 mg/L, pH 7.41, more than design indexes and the liaoning province integrated wastewater discharge standard (DB21/1627-2008) the standard. 　　Keywords: monocrystalline silicon slice production waste water, floating, hydrolysis acidification, contact oxidation 　　 　　 　　中图分类号： X703文献标识码：A文章编号： 　　 　　1.引言 　　某太阳能硅材料企业的主导产品为太阳能电池用的单晶硅棒、硅片。是国内唯一一家获得太阳能电池用单晶硅锭国家免检产品殊荣，集科研、生产、销售为一体在香港联交所主板上市的高新技术企业。近几年，随着国际太阳能电池产销量、需求量的飞速增长，2010年该公司异地新建年产2000吨硅单晶4000万片硅片工程项目。该项目日排单晶硅片生产加工废水3000吨，采用预气浮―水解酸化-接触氧化处理工艺。实际工程运行结果表明，该处理工艺处理效率高，处理出水COD、BOD、SS等指标超过设计指标和《辽宁省污水综合排放标准》（DB21/1627-2008）的要求。 　　2.废水水质水量 　　2.1废水来源及特征 　　废水主要来自单晶硅片生产过程，即开断、滚圆、研磨过程产生的废水，预清洗废水，脱胶废水，超声波清洗废水及制高纯水产生的废水等。废水中主要含有无机单晶硅粉末、碳化硅、聚乙二醇，还含有少量氢氟酸和表面活性剂，水质波动性大，废水有机物浓度较高，氮、磷含量低，可生化性差。 　　2.2废水水质水量 　　根据该企业的生产规模和提供的有关资料，本工程设计水量为3000m3/d。进水水质经多次监测分析确定。污水处理站进水水质表见表1. 　　 　　表1进水水质表 　　Tab.1Water quality of inlet 　　项目 CODcr BOD5 SS NH3-N 石油类 pH 　　进水 2500 300～350 400 2.3 0.68 6～7 　　 　　 　　2.3废水排放标准 　　根据环保要求及该企业所处地理位置，处理后的废水排入开发区的城市污水处理厂，排放标准执行《辽宁省废水综合排放标准》（DB21/1627-2008）中的要求。 　　 　　3. 处理工艺 　　3.1工艺流程 　　该废水中主要含有聚乙二醇及表面活性剂和细小颗粒物，属于可生化性差的废水，其水量变化也较大，对生化处理产生的影响很大，为了保证生化处理效果的高效、稳定，必须在生化处理前设置必要的预处理过程，通过预处理降低污染物有机负荷，即最大程度地去除废水中的细小颗粒物、表面活性剂