光学检测工程实验室.pptVIP

光學檢測工程實驗室 * 中央大學光電科學與工程學系（所） 指導教授： 梁肇文助理教授 學歷： 美國亞利桑那大學光學博士 研究方向： 1.光學元件檢測 2.光學系統設計 3.3D成像系統 4.光機介面工程 Email ： cwliang@dop.ncu.edu.tw Grating-Cross Slit Test * Experiment schematic diagram Experiment setup 相移式光柵-十字狹縫量測和雷射干涉儀兩者量測結果相比(準確度達0.01 波長)，波前峰對谷值相差0.32 波長，波前均方根值相差0.054 波長。 The measurement difference in Peak-Valley between Phase Shifting Grating-Cross slit and laser interferometer (accuracy in 0.01 waves ) is 0.32 waves. And wavefront RMS is 0.054 waves 多場像差量測 * Measure full field aberration and use Double Zernike Expansion to analyze full field aberration. Experiment schematic diagram Physical model Geometrical model 量測多場像差量測，並利用雙zernike 展開式來分析多場像差。 * Experiment figure A focus sensor that is capable of measuring displacement up to sub-um precision and tilt motion up to sub-arc-sec precision. Simulation Tilt and displacement principle 一對焦感測器可以用來測量精確度到次微米等級的位移跟傾斜。 The displacement and tilt sensing focus sensor * Displacement and tilt angle of test mirror are measured simultaneously by this system Precision of displacement could achieve 0.6 nm, tilt angle could be sensed up to 20arcsec under 100mm measurement length. 奈米位移-秒級角度量測干涉儀 Experiment setup 一量測系統同時可以測量到待側面鏡的位移跟角度。 位移量測結果之準確性可達0.6奈米， 傾角之敏感度於量測長為100mm下可達20arcsec.