III型 PECVD 软件说明书.pdfVIP

M82200-3/UM 型 等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 计算机工艺自动控制系统 V3.0.0 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 The 48th Research Institute of CETC M82200-3/UM 型PECVD 设备计算机工艺自动控制系统 V3.0.0 中国电子科技集团公司第四十八研究所 目 录 一、概述1 1.1 硬件结构3 1.2 软件结构4 二、软件安装说明7 三、主窗口11 3.1 用户登录11 3.1.1 新建用户13 3.1.2 修改用户14 3.1.3 删除用户14 3.1.4 登录选项15 3.2 系统功能栏17 3.2.1 主要参数18 3.2.2 系统功能19 3.2.3 其它…19 3.3 工具栏20 3.4 屏幕加锁/解锁 20 四、工艺编辑22 4.1 概述22 4.2 “工艺编辑”工具栏23 4.2.1 新建文件23 4.2.2 打开文件24 4.2.3 保存工艺参数25 4.2.4 另存工艺文件25 4.2.4 复制步26 4.2.4 剪切步26 4.2.5 粘贴步27 4.2.6 新增步27 4.2.6 删除步27 4.2.7 锁定（参数）28 4.2.8 下填（参数）28 4.2.9 全填（参数）28 4.2.10 检查28 4.2.11 更新30 4.2.12 到 xls30 4.2.13 打印31 4.2.14 退出31 4.3 修改参数32 4.3.1 设置步名称32 4.3.2 输入数字值33 4.3.3 修改舟状态34 通信地址：湖南省长沙市天心区新开铺路 1025 号 邮政编码：410111 I 网址： 电话：（86 ）0731-540