[讲稿]洁净空调系统实例.pptVIP

新人心得報告 空調潔淨二課 報告人 : xxx AGENDA Water System AIR System 值班工作 心得與建議 THE END Water System Cooling Tower System Chiller System PCW System Warm Water System Hot Water System Water System COOLING TOWER 廢熱的最終散發點。即除去冰機運轉時產生之熱能及FAB內所產生之熱能。 利用液體薄膜表面蒸發汽化，吸收底層液體熱量，降低冷卻水溫度。 回水溫度(約35℃)會因工廠負載而有所改變，因此風扇轉速會依據出冷卻水出口溫度(28℃)為設定點，利用變頻器加、減風扇速度。 二廠共10座，位於CUB樓頂。 1~8(A/B) 風扇為 40HP，9~10(A/B)風扇為 60HP。 COOLING TOWER 水份散發後，補水水源係利用RO回收水及MUA冷凝回收水。若不足加入自來水。 補水啟動液位:42cm，停止液位: 52cm。 由CUB地下室 300T*2 地下室冷卻水槽。 電導度大於1500μs/cm，由回水管(7A旁)進行排水。 排水同時進行補水，電導度降至1350μs/cm停止排水。 加藥。因水塔是對大氣開放，因陽光照射及接觸大氣中細菌，易生長藻類及細菌。 加藥控制是利用定時器，自動啟動加藥Pump，並設定Pump每分鐘輸出量，達到藥量控制。 藥品種類:TKC-3603(水垢腐蝕抑制劑)、TKC-640(殺菌劑)、漂白水(滅藻劑)。 Water System CHILLER SYSTEM 利用冷媒由蒸發器，汽化(吸熱)、經壓縮機，壓縮(放熱)提供 5℃冰水。 熱力學第一定律 當有熱能（ΔQ）由於溫差的原因，由外界傳入一物體，通常會有溫度升高（粒子平均動能增加）且體積膨脹（對外界做功ΔW）的情形。我們把物體內所有粒子的總機械能稱為該物體的內能（U），則由能量守恒可得： ΔQ ＝ ΔU ＋ ΔW 即 系統吸收的熱能＝系統內能增加量＋系統對外做功值。 CHILLER SYSTEM 冰水供給:MUA冰水管排、RCA溫控水排、PCW熱交換器及 CDA System。 溫水供給:MUA熱水管排。 冰水系統共 1~10 號冰機，其中 3、6、9為熱回收冰機，可提供約35℃溫水。 Chiller Water Pump (CHP) 1~10號，50HP。 供應 5Kg/cm2 冰水進入冰機。 Second Chiller Water Pump (SCHP) 1~10號，250HP。 供應 5Kg/cm2 冰水至 MUA、RCA、CDA及PCW熱交換器及 CDA System 。 CHILLER SYSTEM 冰機啟動 a. 與電力課確定用電狀況。 b. 確定閥件是否開啟。 c. 啟動冷卻水pump，確定壓力(約4Kg)是否建立。 d. 啟動冰水pump，確定壓力(約5Kg)是否建立。 e. 檢查油槽液位(視窗一半以下)及溫度(140~145℉)。 f. 啟動冰機。調整SCHP(手動部分)頻率使平衡運轉。 冰機啟動時機 a. 運轉冰機負載皆大於 90% 。 b. 二次冰水pump接近60Hz運轉(冰水主管路流量增加時)。 c. 預計外氣溫度將持續升高。 CHILLER SYSTEM ． 冰機關閉 a.與電力課確定用電狀況。 b.按下冰機停止鍵(紅色)，注意不可連續壓二次(緊急停止)。 c.等候關機後冷媒循環時間結束。 d.關閉冷卻水pump。 e.關閉冰水pump。 f.調整SCHP(手動部分)頻率使平衡運轉。 ． 冰機關閉時機 a.運轉冰機負載總和% / 冰機運轉數目 小於65% 。 b.二次冰水pump接近25Hz運轉(冰水主管路流量降低時)。 c.預計外界氣溫將持續下降。 Water System PCW System 提供15 ℃,輸送壓力(5.0~5.5kg)低溫水供應FAB內生產機台所需的冷卻水。 利用冰機提供 5℃冰水及板式熱交換器降溫。 隨時注意出口5.0~5.5Kg，確定管線輸送正常。 電導度: 20μs/cm , 40μs/cm 。 PH : 6.0~8.0 。 補水以DI Water為主，若有大量失水則補足自來水。