DP操作流程-YK.docVIP

DP网版匹配性测量 分别测量3#、4#两块网版的4个基准点之间的距离，以及每个基准点到相应的最外侧细栅线之间的距离；比较所测量两块网版的 每个相对应距离的数值，要求所有的误差都在15um以内，否则判定此套网版不匹配； Check机台硬件 要求3#、4#所有印刷台面均为厂家原装156*156玻璃台面； 要求3#、4#印刷机机头与机身、机头与台面之间水平误差在100um以内， 用千分尺测量，超出误差范围要求设备做出调整； 每次开线前衬纸、刮条、网版的辅料均要求为新的； DP校准 切换4#机台程序，DP时在file中将V1.data程序切换为dp.data程序，切换程序后reset 4#机台； 校准机台sensor、13MG、15MG以及回墨刀； 相机校准 选择file/calibration.data 将‘L’形校准工具上在4#网框上，插入机台，相机所照台面上垫A4纸一张 10MG、11MG、12MG全部归零 通过13MG找到相机所照台面的零点，例如零点为-10000 打开52-Calibration Motors Z改为-10000，X、Y改为0 Apply 同理操作2、3、4、5相机 Vision menu Image Move（X、Y） 将白色model移至视野中央 Apply 打分（90分以上为优） 同理操作2、3、4、5相机 LOCAL、 GLOBAL参数Check Camera 1 “Degree = 1” “Row = 3” “Columns = 3” “Step X = 2000” “Step Y = 2000” Cameras 2, 3, 4 and 5 “Degree = 5” “Rows = 12” “Columns = 9” “Step X = 1500” “Step Y = 1500” Global Number of points = 9” “Angular step (mdeg) = 500” 参数确认OK后，Run Calibration运行每一个相机参数 运行完成后保存结果 再次切回dp.data 并Reset4#机台 Alignment 在Vision Menu” select “51-Alignment/Substrate “Upper light = disabled” “Alignment type = Center (edge)” Click “Settings”: the “Substrate center edge alignment “Image edge”: “Top, Right, Bottom,Left” “Model”: “1, 2, 3, 4” “Camera”: “1, 1, 1, 1” “Algorithm”: “Line, Line, Line, Line”. 在Vision Menu中分别给Line1、2、3、4打分（分数在60-70分为优） Line1、2、3、4校准OK后在Vision Menu select 51-Alignment/Substrate “Upper light = enabled”, “Alignment type = Fiducials”. 然后Click “Settings” and the “Substrate fiducials alignment” 在Vision Menu中分别给27、28、29、30 Model打分（分数90以上为优） 做完27-30Model的打分后，最后做32-35Model的打分 Vision Menu select “51-Alignment/Print”. “Substrate Upper Light=enabled” “Print Upper light = enabled” “Alignment type = Fiducials”. 完成32-35Model的打分后，Alignment结束 Auto Offset 在HELP中将16-27项偏移量清零 在22-Print Parameters中调试偏移量 例如 记录下调试OK后的偏移量 然后From “2-Machine” menu select “21-Cycle” printing =Enable wafer alignment =Enable auto offset =Enable Single Nest=0 然后start，弹出对话框后点击‘No’，印刷4片wafer， 完成第一次auto-offset，记录下HELP中16-27的偏移数值； 在22-Print Para