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X射线光谱与电子能谱分析法PPT
* * 第十五章 X射线光谱与电子能谱分析法 第四节 X射线电子能谱分析法 一、基本原理 principles 二、X射线光电子能谱分析 X-ray photoelectron spectroscopy 三、紫外光电子能谱分析 ultraviolet photoelectron spectroscopy 四、Auger电子能谱 Auger photoelectron spectroscopy 五、电子能谱仪 electron spectroscopy X-ray spectrometry and electron spectroscopy X-ray electron spectroscopy 一、基本原理 principles 电子能谱法:光致电离; A + h?? A+* + e h? 紫外(真空)光电子能谱 h? X射线光电子能谱 h? Auger电子能谱 单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子,产生由一系列峰组成的电子能谱图,每个峰对应于一个原子能级(s、p、d、f); 光电离几率和电子逃逸深度 自由电子产生过程的能量关系: h? = Eb+ Ek+ Er ≈ Eb+ Ek Eb:电子电离能(结合能); Ek:电子的动能; Er :反冲动能 光电离几率(光电离截面?):一定能量的光子在与原子作用时,从某个能级激发出一个电子的几率; ?与电子壳层平均半径,入射光子能量,原子序数有关; 轻原子: ? 1s / ? 2 s ≈20 重原子: 同壳层? 随原子序数的增加而增大; 电子逃逸深度?:逸出电子的非弹性散射平均自由程; ?:金属0.5~2nm;氧化物1.5~4nm ;有机和高分子4~10nm ; 通常:取样深度 d = 3? ;表面无损分析技术; 电子结合能 原子在光电离前后状态的能量差: Eb= E2 – E1 气态试样: Eb=真空能级 – 电子能级差 固态试样:(选Fermi能级为参比能级) Eb= h? –?sa – Ek ≈ h? –?sp – Ek Fermi能级:0K固体能带中充满电子的最高能级; 功函数:电子由Fermi能级?自由能级的能量; 每台仪器的?sp固定,与试样无关,约3 ~ 4eV;Ek可由实验测出,故计算出Eb 后确定试样元素,定性基础。 二、X射线光电子能谱分析法 X-ray photoelectron spectroscopy 光电子的能量分布曲线:采用特定元素某一X光谱线作为入射光,实验测定的待测元素激发出一系列具有不同结合能的电子能谱图,即元素的特征谱峰群; 谱峰:不同轨道上电子的结合能或电子动能; 伴峰:X射线特征峰、Auger峰、多重态分裂峰。 1.谱峰出现规律 (1)主量子数n小的峰比n大的峰强; (2)n相同,角量子数L大的峰比L小的峰强; (3)内量子数J大的峰比L小的峰强; ( J = L±S ;自旋裂分峰) 2. 谱峰的物理位移和化学位移 物理位移:固体的热效应与表面荷电的作用引起的谱峰位移 化学位移:原子所处化学环境的变化引起的谱峰位移 产生原因: (1)价态改变:内层电子受核电荷的库仑力和荷外其他电子的屏蔽作用;电子结合能位移?Eb; 结合能随氧化态增高而增加,化学位移增大;为什么? (2)电负性:三氟乙酸乙酯中碳元素的 3. 电负性对化学位移的影响 三氟乙酸乙酯 电负性:FOCH 4个碳元素所处化学环境不同; 4. X射线光电子能谱分析法的应用 (1) 元素定性分析 各元素的电子结合能有固定值,一次扫描后,查对谱峰,确定所含元素(H、He除外); (2) 元素定量分析 一定条件下,峰强度与含量成正比,精密度1-2%; 产物有氧化现象 特殊样品的元素分析 可从B12中180个不同原子中,检测出其中的一个Co原子 (3)固体化合物表面分析 取样深度 d = 3? ; 金属0.5~2nm; 氧化物1.5~4nm ; 有机和高分子4~10nm ; 表面无损分析技术; 钯催化剂在含氮有机化合物体系中失活前后谱图变化对比。 固体化合物表面分析 三种铑催化剂X射线电子能谱对比分析; (4)化学结构分析 依据:原子的化学环境与化学位移之间的关系; 例:化合物中有两种碳原子,两个峰;苯环上碳与羰基上的碳; 羰基碳上电子云密度小
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