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2018-01-14 发布于河北
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失效分析技术和案例2.pdf

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失效分析技术和案例2

第一部分电子元器件失效分析技术 1．失效分析的基本概念和一般程序电子元器件失效分析技术与案例 2 ．失效分析的电测试 3 ．无损失效分析 4 ．模拟失效分析信息产业部电子五所 5 ．制样技术 6 ．形貌像技术可靠性分析中心 7 ．扫描电镜电压衬度像费庆宇 8．热点检测技术 9 ．聚焦离子束技术失效分析的基本概念失效的概念和种类 • 失效的概念和种类 • 失效定义 • 失效分析的定义 1 特性剧烈或缓慢变化 2 不能正常工作 • 失效模式 • 失效种类 • 失效机理 1 致命性失效：如过电应力损伤 • 纠正措施 2 缓慢退化：如MESFET 的IDSS下降 • 失效分析的作用 3 间歇失效：如塑封器件随温度变化间歇失效 1 致命性失效缓慢退化间歇失效失效模式的概念和种类 • 失效的表现形式叫失效模式 • 按电测结果分类：开路、短路或漏电、 e 参数漂移、功能失效 c • 失效模式是失效的结果 b 2 失效机理的概念失效模式与失效机理的关系 • 失效的物理化学根源叫失效机理。 • 开路的可能失效机理：过电烧毁、金属 • 失效机理是失效的原因。电迁移、金属的电化学腐蚀、压焊点脱落、CMOS 电路的闩锁效应、爆米花效 • 失效的外因：如过电应力、静电放电、应闩锁效应、温度应力、机械应力、潮湿、重复应力 • 失效的内因：如金属电迁移、金属的电化学腐蚀、压焊点脱落过电烧毁金属电迁移 3 金属的电化学腐蚀