洁净室的运行与管理.ppt

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洁净室的运行与管理

表5 IEST-RP-CC-003.2中各种级别洁净室的服装类型 服装类型 ISO 7级与8级 (10万级与万级) ISO 6级 (100级) ISO 5级 (100级) ISO 4级与3级 (10级与1级) 长服 R AS AS(NR*) NR 两件套 AS AS AS AS 连体服 AS R R R 鞋套 R AS AS(NR*) NR 靴子 AS R R R 专用鞋 AS AS AS AS 发罩 R R R R 头罩 AS AS R R 面罩 AS AS R R 通讯头盔 AS AS AS AS 纺织手套 AS AS AS NR 屏障手套 AS AS AS R 内服 AS AS AS R 注:R = 推荐 NR = 不推荐 AS = 根据具体情况 (NR*)= 不推荐用于非单向流 表6 无菌洁净室服装类型(IEST RP CC-003.2) 服装类型 ISO 7级 (1万级) ISO 6级和5级 (1000级和100级) ISO 4级与3级 (10级与1级) 长服 NR NR NR 两件套 NR NR NR 连体服 R R R 鞋套 NR NR NR 靴子 R R R 专用鞋 AS AS AS 发罩 R R R 头罩 AS R R 面罩 R** R** R** 通讯头盔 AS AS AS 纺织手套 屏障手套 NR R NR NR R R 内服 AS AS R 注:R = 推荐 NR = 不推荐 AS = 根据具体情况 (NR*)= 不推荐用于非单向流 2.4 洁净室服装的处理与更换 洁净室服装在使用过程中会受到污染,必须定期用清洗干净或新服装替换。一次性的洁净服穿着一次后即扔掉,多次使用的服装要在洁净室洗衣房中洗涤。 2. 洁净室的标准(Cleanroom Standards) 国家标准GB50073-2001关于洁净室分级的方法; 国际标准ISO 14644关于洁净室分级的方法; 表示分级浓度限值的平行线图。 图15 ISO分级浓度限值图示 3. 污染源(Sources of Contamination) 人员带入和人体释放的污染; 物料带入的污染; 工艺过程产生与散发的污染; 围护结构和设备表面沉积与吸附的污染物二次飞扬; 由空调送、回风系统进入的污染; 洁净室用品如抹布、笔、纸等选择不当而产生的污染。 4. 个人卫生(Personal Hygiene) 强调作为洁净室工作人员个人卫生与生产、科研的关系; 洁净室人员应有良好的卫生习惯。 5. 清洁(Cleaning) 造成二次飞扬; 因接触而污染了洁净服、手套、指套,进而污染产品 随时随地、频繁地进行清洁; 全面、彻底的清洁工作则由清洁人员、清洁公司按照规定来进行。 6. 洁净服程序(Cleaning Clothing Procedures) 用鞋清洁机、洁净室用粘垫等除掉鞋上的污物; 脱去外套等室外服装; 按要求摘下首饰; 清除化妆品,按要求涂润湿剂(moisturiser); 必要时穿上鞋套; 洗手,必要时涂皮肤润湿剂; 必要时,穿或换上洁净内衣; 6. 洁净服程序(Cleaning Clothing Procedures) 换上洁净室专用的内鞋(Cleanroom-dedicated under shoes)或鞋套; 领取或拿出洁净服包装袋; 如需要,戴上手套再动洁净服; 带上面罩和头套; 穿上套服或外衣; 利用跨越台(crossover bench)穿上鞋套或洁净室专用鞋; 6. 洁净服程序(Cleaning Clothing Procedures) 穿洁净服时用的手套可以脱下或仍戴在手上,在其外再套上工艺用手套; 在通长的镜子前面检查,确保全套装备都穿戴好; 进入洁净室。 7. 维护程序(Maintenance Procedures) 所有这些工作都必须有申报、审核和备案程序; 进入的人员应与操作人员相同,依照同样的进入程序和衣着; 整个维护工作应在洁净室管理人员监督下进行; 记录维护工作的全过程,包括问题的诊断、更换的零件、日期、时间和进行维护的人员等。 8. 如何测试和监测洁净室 (How a Cleanroom is Tested and Monitored) “测试”是检验所建洁净室是否达到规定技术指标的基本手段和重要程序,洁净室正常运行中,洁净度、温、湿度、压差等重要指标的监测,是考核洁净室的受控状态; 工作人员不能随意变更监测设备的位置,不允许发生和妨碍监测仪器正常工作的任何举动; 测试资料和数据要保存完好。 9. 在洁净室内如何行动(How to act in a Cleanroom) 进入洁净室内的各种人员都按章办事,严格执行洁净室的纪律,不做任何违规的行动; 在洁净室内按规定路线稳步行走,按规定动作姿

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