容删及反馈传感器教学课件PPT.ppt

10cgq04_2 * * 复习： 1.电容传感器原理 被测量→电容的变化（?, ?r , S）→ →电压（流）的变化。 2.分类 变极距型；变面积型；变介电常数型 3.静态灵敏度 变极距型： 差动接法： §4-4 电容式传感器举例及应用 一.基本数据 1.测线位移 变极距型： 量程： 0.01?m～102 ?m 分辨力： 0.001?m （纳米） 精度： 0.01?m 变面积型: 量程： mm～102 mm 分辨力: 0.01?m～ 0.001?m 线性： 优于0.5% + + + ? A ? 2.测振动 振幅： 50?m 频率： 2kHz 3.测压力 量程： 50MPa 二.电容式位移传感器 + + + ? A ? 测主轴的径向跳动 电子测微仪 测板材厚度 厚度↑→?↓ →Cx ↑ 板材为电容器一极 带材的振动不影响测量精度 二.电容式加速度传感器 壳体固定在振动 物体上，相对质 量块位移，此位 移与加速度成正 比，使两个电容 变化。 三.电容式压力传感器 电容传声器 液面高度测量 液面高度测量 四.电容式集成传感器 间距极小； 测量电路与敏感电容 集成在一起。 电容式传感器01.exe 五.容栅式传感器 1.结构及原理 变面积型的组合 W=2b 灵敏度： 2.差动接法 定栅： 动栅对： 差动电容： 3.容栅式传感器的特点 电容传感器的优点； 多极电容，平均效应，灵敏度高， 抗干扰能力强， 测量精度 ：5?m; 量程：1m. 反射式； 透射式； 倾斜式； 圆容栅 六.反馈式电容传感器 1.闭环传感器的原理 输出=被测量 (1).框图 （2）反馈元件 线位移、动圈元件、压电元件 2.力平衡式加速度传感器 （1）原理 壳体振动向上，质量块受力Fx=max , 相对于壳体向下(y↓); 电容 (进而I)随y(进而随Fx)变化; 力矩器产生反馈力F?=? I也作用于质量块 Fx= F? （2）方块图 Fd=Fx- F? （3）特性参数分析 ▲闭环静态灵敏度： ▲固有频率： ▲阻尼比： ▲与m,c,b参数的关系： ▲保证措施： （4）应用 惯性导航系统 GPS：Global Positioning System 多星、高轨、测时、测距 GPS卫星位置的确定(加速度传感器)