材料特性对亲水性固结磨料研磨垫加工性能地影响.PDFVIP

第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 11 1 Vol. 11 No. 1 年 月 2013 1 Nanotechnology and Precision Engineering Jan. 2013 材料特性对亲水性固结磨料研磨垫加工性能的影响 ， 1 2 1 1 1 1 朱永伟 ， 付 杰 ， 居志兰 ， 唐晓骁 ， 李 军 （1.%南京航空航天大学机电学院，南京 210016 ； 2. 江苏省精密与微细制造技术重点实验室，南京 210016 ） 摘 要：为研究 材料特 性 对 亲水性 固结磨料研 磨垫 的加工性 能影响 ，本文研究 了K9玻璃 和硅 片 两种 材料 在 不同加工 顺序 下研 磨过程 中的声发射信号 和摩擦 系数特征 ，采 用扫描 电镜 分析 磨屑 的尺寸与形 态 结 果表明 ：不同加工 顺序 下 . 工件 的材料去除速 率 差 别很大. 与 直接研磨硅 片相 比 ，先研磨K9玻璃 再研 磨硅 片 ，硅 片 的材料去除 速 率 大幅 下 降 ；相 反 ，先研磨硅 片再研 磨K9玻璃 ，与 直接研磨K9玻璃 相 比 ，K9玻璃 的材料去除 速 率 变化不 大. 无论 采 用哪 种加工 顺序 ， 后研 磨 的工件 表 面粗糙 度 均 比直接研磨 的 同种工件要 大. 扫描 电镜 的分析表明 ，硅 片 的磨屑 尺寸 集 中在600 nm~1.5 n μm ，磨屑 大部 分都棱 角完整 ；而K9玻璃 的磨屑 尺寸 集 中在300 nm~500 nm左右 ，无 明显棱 角. 硅 片磨屑较 大的尺寸与 c 完整 的棱 角促 进了研 磨垫 的 自修 正过程 ，所以硅 片这 类脆 性较 大的材料 有利于研 磨垫 的 自修 正过程 . . 关键词：材料特性； 固结磨料研磨垫； 材料去除速率； 表面粗糙度； 自修正 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） TQ164 A 1672-6030 2013 01-0051-06 m Influence of Material Characteristics on Machining o Performance of Hydrophilic Fixed Abrasive Pad c .