我国特种气体产业的发展.PDFVIP

低温与特气　　1998　　 4 1 综述评论 我国特种气体产业的发展 梁 国 仑 (化工部光明化工研究设计院　大连　116031) 回顾了我国集成电路产业的发展历程, 介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩, 指出石油化工企业用 标准气市场潜力巨大。 主题词: 集成电路　电子气体　标准气体　标准混合气体 　　新材料对国民经济和国防建设起着关键 始, 经过产业结构调整和重点项目建设, 在 的支撑作用。微电子技术是当今世界最活跃 产品开发能力、大规模生产、应用领域等方 的生产力, 而集成电路是微电子技术的核心。 面均有较大的发展。1988 年我国集成电路产 电子信息技术和集成电路产业已成为一个国 量首次突破 1 亿块, 此后产量一直徘徊不前, 家综合国力的重要的标志, 它的发展及其在 直到 1992 年、1993 年后, 由于外资的引入, 各个领域的广泛应用, 极大地推动了科技进 增长速度加快。据报道, 1997 年生产了 14 亿 步和经济增长, 对国防安全起到了重要作用。 块, 1998 年目标是生产 16 亿块, 其中大规模 石油化工是我国四大支柱产业之一。在 集成电路 10 亿块。据报道, 1996 年国内集成 大型石油化工装置开车、停车和正常运行中 电路市场总销售量为72 5 亿块, 其中进口为 需要几十种纯气和上百种多组分标准混合 68 亿块, 国内 IC 厂家生产 1187 亿块 (含 气, 用来校准、定标在线分析仪表及分析原 ) 37 亿块管芯 , 销售额 397 亿元。其中国内 料和产品的检测仪器。这对稳定运行和提高 生产出口 IC 73 亿块, 出口金额26 8 亿元。 产量是非常重要的。 国内 IC 市场的特点是: 所用大部分 IC 依赖 特种气体主要包括上述的电子气体和标 进口; IC 市场所使用的技术档次为: 大于 准气体两大门类, 它是集成电路制造和大型 2m 工艺产品占 47% , 0 8～ 15m 占 石油化工装置正常运行必不可少的材料。 〔1〕 40% , 0 5m 占11% 。1996 年按销售额排 ( 序, 国内前五名依次为: 天津摩托罗拉 1419 ) ( ) 1　我国集成电路产业的发展 亿元 ; 首钢日电 82 亿元, 4538 万块 ; 华 ( )