关于相控外差干涉技术的纳米定位方法的研究.pdfVIP

第32卷第7期 仪器仪 表 学报 VoL32No．7 Chine8e ofScientificI珊协咖ent JIll．20ll 2011年7月 Joumal 基于相控外差干涉技术的纳米定位方法的研究串 3 Luc Suat 许素安1，李东升2，ch鹄sagIle3，Topcu (1中国计量学院机电工程学院杭州310018；2中国计量学院计量测试工程学院杭州310018； 3LIsV，Univ啪i哆ofVe瑚iU髓Saint—Qlle而n，Versaill∞ced旺，78035，Frame) 摘要：针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高，提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法。该方法 采用相位锁定控制和外差干涉技术来完成位置测量和控制。在严格控制实验环境条件下，得到了步距值为5nm的双向步进位 移。步距值的不确定度为8×10一咖，位移重复性误差小于l砌。该定位方法的测量尺寸可直接溯源至长度标准，并且采用 光电步进相移法可克服压电陶瓷的非线性和蠕变的机械缺陷。该方法在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移，可应用于 纳米计量和超精密加工等领域。 关键词：纳米定位；相位控制；外差干涉仪 中图分类号：TH741文献标识码：A 国家标准学科分类代码：410．55 0f methodb嬲edon Research ph嬲e-control na肿positioIling techIlique heterodyI伧intemrometric 3 Xu L肛c Suat 3，’ropcu Su’锄1，“Dongshen92，Ch踟a印e (Jc0姆矿舭kn蒯珊矗眈砌ZWr搠衄，C矗讹脚咖g珈枷咖，胁肾加“3JODJ8，吼讹； 2 3JDD馏，傩讹； cb如鲈矿胁抛锄口以胍娜Ⅱ聊陀m凸和煳讥g，吼iM朋泐曙№毋，肌，够幻H ceI商既，78唧，F，口，瑚) 3鹏y，№蚵旷协3以玩鼬妇-Q粥n砌，饧苫口以k at 0f in and industry tlle陀quirementhigherpositioningaccuracy metrolo舒fields，wepropo∞a Abstract：Aiming controlmethodba∞don陀ve玛e ofMichelsoninterferometells．Thismetllod position propeny employsph弱e—locked Under contIl}olled en- controland