关于微流控技术的新型光衰减器器件设计.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.82万字
约 4页
2017-10-27 发布于安徽
举报
版权申诉

关于微流控技术的新型光衰减器器件设计.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第33卷第5期南京邮电大学学报(自然科学版) V01．33No．5 of ofPostsand 0ct．2013 Journal 2013年10月 N肌jingUniversity Telecommunications(NaturalScience) 基于微流控技术的新型光衰减器器件设计郭安金，万静 (南京邮电大学光电工程学院，江苏南京210023) 摘要：采用液体作为光学器件元素，以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合，提出一种新颖的可调光衰减器结构。通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置，实现光能量的可调衰减。以电磁驱动方式控制衰减器的调节，它的工作电压小、驱动行程大，且控制电路较为简单。该衰减器具有体积小、衰减范围大的特点，有利于光衰减器的集成化、微型化及制作。关键词：可调光衰减器；微流控技术；电磁驱动；MOEMS 中图分类号：TN256 文献标志码：A 文章编号：1673-5439(2013)05-0045-04 ofNew AttenuatorbasedonMicrofluidic Design Optical Technology GUO An-jin，WAN Jing of of and Posts (SchoolOptoelectronicEngineering，NanjingUniversity Telecommunications，Nanjing210023，China) as this newvariable an Abstract：In paper，a opticalattenuator(VOA)isproposedbytakingliquid opti- caldevicegelementand the ofMicro—fluidic driveand integratingtechnologies control，electromagnetic in the deviceto MOEMS．Themicrofluidic thisattenuatoriscontrolled drive position by electromagnetic the attenuatorofthe structurehasseveral suchasthe implementadjustable lightenergy．This advantages smallsizeandthe attenuation makethecontroland large range，which integrationeasily． control Keywords：VOA；micro-fluidictechnology；electromagneticdrive；MOEMS 0引