非球面镜片的精密加工;光学镜片的加工及检测.pdf

光学加工与检测技术 主讲：朱健强 研究员 中国科学院 上海光学精密机械研究所 二零零六年九月 目 录 I. 光学冷加工工艺通用工艺 II. 非球面加工与检验 III. 特种光学元件加工技术（强激光光学元件 与环抛技术） IV.光学加工机械 V. 光学加工车间检验和终检 VI. 光学加工新技术概述 Ⅰ光学冷加工工艺通用工艺 一、对光学技术人员的要求 二、光学冷加工工艺 三、加工辅料 一、对光学技术人员的要求 1. 操作要求： 会操作各类光学加工机床和设备， 熟悉光学加工工艺，能加工出满足特定要求的光学零 件(精确的直径、曲率半径、厚度、角度和平行度)； 会使用各种检测仪器（自准直仪、光具座及其附件、 干涉仪、罗契检验及刀口检验仪等）来保证精度； 维护设备及工作场地，作工作笔录及进度，并养成安 全操作习惯； 一、对光学技术人员的要求 2. 理论要求 折射和衍射原理； 玻璃的特性； 玻璃或其他光学材料从粗加工零件到完工成品的加工 过程； 初等数学； 读懂各阶段生产工艺图的技术规格、公差； 光学检验理论 二、光学冷加工工艺 1. 开料成形 2. 粗磨 3. 上盘 4. 细磨 5. 抛光 6. 定心磨边 2.1 开料成形——材料切割 切割厚的工件 圆片的切割 （内圆切割和外圆切割） 2.1 开料成形——材料切割 棱镜和分束器的切割 2.1 开料成形——材料切割 金刚石切割机 fecker 80BQ 金刚石切割机 2.1 开料成形——材料切割 线切割 2.1 开料成形——钻孔 钻孔 在玻璃元件上钻、铣出圆形或其他形状的通孔和半通 孔。 航天光学元件的轻量化 2.1 开料成形——磨外圆 磨外圆 2.2 粗 磨 粗磨平面 粗磨棱镜和斜面 粗磨球磨 2.2粗磨——平面 散粒磨料多片加工 散粒磨料单片加工 2.2粗磨——平面 双面加工 2.2粗磨——平面 LOH公司SPM平面铣磨机 2.2粗磨——棱镜和斜面 铣磨棱镜和斜面的准直夹具 制造精密的反射角及 小平面棱镜需要这种夹具 2.2粗磨——棱镜和斜面 2.2粗磨——棱镜和斜面 LOH公司PR－150－SL型棱镜粗磨机 2.2粗磨——球面 单件手工粗磨球磨 中心点 留边 2.2粗磨——球面 磨球面工艺技术参数 球面矢高量 1 0.5 0.1 磨料粒度 150＃～180＃ 240＃～280＃ Ｗ40～Ｗ28 单面磨削量 0.3～0.4 0.1～0.2 0.05～0.1 凸面中心点直径 2～3 1～2 0 凹面边宽 1～1.5