三维表面粗糙度参数的矩表征.pdfVIP

第22卷 第3期 量 学 报 Vo1_ 22． № 3 2001年7月 SIETROLOG1CA sINICA July，2001 文章编号：1000—1158(2．001)03—0168—06 三维表面粗糙度参数的矩表征 李成责 ， 董 中 (1北京航空航天大学测控系，北京 100083； 2．哈尔藩工业大学精密工程研究所，哈尔滨 150001) 摘要：以舒形几何理论为基础，利用轮廓谱矩和表面谱矩对三维表面粗糙度评定参数进行了分形 表征；并且从理论上提出了一些新的三维评定参数，如均一性、等方性等；最后还进行了实验验证。 关键词：表面粗糙度；三维形貌；分形几何；评定 中囤分类号：TB 92 文献标识码：A Characterization of 3 D Surface Roughness by Spectrum Moments LI Cheng．gui ， DONG Shen (1 B 咄 University of Aetormuldes＆Astronautics，Bering 100083，China； 2．Harbitt1∞血me Teehno|ogy，~arhin150001．China) Abstract：Based 0n the analysis of the丘 geometry theory，a n w characterization mad evaluadoa of 3D ． surface坤ughne祷is~ntrotluced|Ⅱthis paper，which uses the concepts of spectrum moments．Besides，some three· dimension evaluating parameters of su~Ztaee mughne are investigated，such∞ homogeneity．isotropy，ele．In the e ，bythe experimentsfor ground samples，the results confirmthe COrleCElibels nfthese eotmtingmethods． Key words Su6ace IUI】ghhess；3D topography；graetal geometry；Evaluation 的，而且三维表面粗糙度测量仪的最大特点是测 1 引言 量元区域化。为此，国内外众多学者一直在努力 探索三维表面租糙度的合适评定参数” ，而且 表面粗糙度国家标准(GBtT 1031—1995)中 还召开了有关三维表面形貌表征的国际专题讨论 规定的27个粗糙度参数，在工程表面的评定和理 会 ]，特别是欧洲共同体在这方面做了许多积极 论研究中一直起着重要的作用。但随着精密和超 的工作。近几年，随着电子计算机技术的飞速发 精密加工技术向亚微米和纳米级精度的发展，对 展，给这一问题的解决提供了强有力的支持。 零件表面的微观几何结构及表面质量的检测提出 本文以分形几何理论为基础，利用轮廓谱矩 了越来越高的要求。