微细电极与孔的电火花加工尺寸一致性工艺.pdfVIP

ISSN 1000-0054 清华大学学报 (自然科学版) 2014年 第 54卷 第 l1期 l2／2O — — CN 11—2223／N JTsinghuaUniv(SciTechno1)，2014，Vo1．54，No．11 146O一1465 微细电极和孔的电火花加工尺寸一致性工艺 张 龙 ， 李 勇， 佟 浩 (清华大学 机械工程系，制造工程研究所 ，精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 ，北京 100084) 摘 要 ：线放 电磨削(WEDG)方法巧妙地解决了微细 电极 微细电火花加工为非接触式加工 ，采用微小放 的在线制作 问题，启动和促进 了微细 电火花加工技术研究。 电能量和微细电极 ，可加工出大深宽比的微细孔、微 但对于孔径小于 100“m 的批量化微细孔加工，WEDG面临 3维结构 ，在微小模具、精密仪器 、生物医学等领域 微细 电极制作及微细孔加工的尺寸一致性 问题。该研究在 具有广泛应用前景口]。若要实现微孔 (直径小于 微细 电火花加工实验系统改进 的基础上 ，为提高微细 电极重 100 m)的加工 ，为避免二次装夹误差 ，微细 电极需 复制作精度 、进行微细孔 的连续加工，提 出切 向进给 的线放 要在线制作 。微细电极制作精度直接影响微孔形状 电磨削方法，以降低机床定位精度对微细电极制作精度的影 和尺寸精度 ，因此微细电极 的高精度在线制作方法 响。通过微细 电极重复制作和微细孔加工实验 ，得到微细 电 极重复制作一致性精度小于 2“IT1，微细孔连续加工直径一 和工艺研究至关重要。线放 电磨削 (wireelectro 致性精度达到士1．1btm。 dischargegrinding，WEDG)E33方法的问世 ，为微细 关键词 ：微细 电火花加工；切 向进给线放 电磨 削；微细 电 电极的在线制作提供一巧妙 的技术途径 ，促进 了微 极；微细孔；一致性精度 细电火花加工 (microEDM)技术研究 的快速发展。 中图分类号 ：TG661 文献标志码 ：A 采用 WEDG工艺 ，可以加工出直径 2．5 m 的微细 文章编号 ：1000—0054(2O14)11-1460—06 电极和直径 5 m的微细孔 ]。在 2OV 的开路电压 下，甚至可以加工出直径约为 1tLm 的微细 电极_5]。 采用蠕动式微进给机构 的微细 电火花加工装置 ，可 Diameterconsistencyofmicroelectrodes 以加工出了直径 25 m、长径 比大于 20的微细 电 andholesmachinedbyEDM