微流量系统的基础技术研究.PDFVIP

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微流量系统的基础技术研究

* 周兆英 叶雄英 李 勇 杨 岳 熊沈蜀 王晓浩 张文栋 才海男 龚秋莲 介绍了国家自 科学基金重点资助项目 “微型机械制造基础理论及基础技术研究” 中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果,并结合微流量系统研究分析了当前微型 机电系统发展的几 个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基 础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机。 38 T H , , X , 2 , , , , 1 , 10 , , , , , 1 微小型泵和微流量系统的基础技术研 究[ 1] 1 , 1. 1 , 微流量传感器  * ( , : 微型阀  991 10 9 1999 9 ; 微型泵  , , , , 微型喷  , , ( , 2 2 Lm3 Lm) , , , ,; 3 mm3 mm;

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