微小电容测量电路 micro- capacitance measuring circuit.pdfVIP

Power Oct．2006 V01．28，No．5 Electric Heikm西i蚰g 微小电容测量电路 邱桂苹1，于晓洋1，陈德运2 (1．哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院，黑龙江哈尔滨1500舳； 2．哈尔滨理工大学计算机与控制学院，黑龙江哈尔滨1500踟) 摘要：针对目前微小电容测量电路的测量方法进行分析和比较。介绍了代表性电容测量电路的基本原理，评 述了各种电路的优缺点以及主要技术指标。并指出微小电容测量电路的发展趋势。 关键词：电容传感器；微小电容；测量电路 中圈分类号：1啷30．11l 文献标识码：A circllit I鹏嬲llring Micro一∞pacita眦e QIUGuipin91，YUXiao)ran91，CHENDe)rIln2 (1．Me船u瑚n册卜c0曲m’IkhIliq∞＆C加瑚unicati咖EIIgiIIeeriIlgSch00l，11日IbiIlUIli嘲畸0fscieI嘴衄d’‰hrI山留，H耻一 bin sch00l，Ha出iIl 0f 1500舳，ChiIm) 150080，Chil旭；2．C唧ut盯＆C∞廿DlUIli啷itySci腽∞蛐d‰hnolo舒，Harbin metllodof circuit c∞m鸣· me嬲血Ilg A吣hct：Me枷lgmicIo—c印acitaIlce popIll盯玳州w憾肌aly扰d肌d tllemechaIli锄of circuit ted，肌d micro—cap∞itaIlce w鹪iIlm)duced，tlleadvalltages趿d a劬pical me船Ilring ofallkiIldsofcircuitandtllemaintecllIlical were develo- discus∞d聃weⅡ，its disadv觚tages speci6cati帆s n℃ndw鹪also out． ping pointed 1【ey circuit words：capacitaIlcesensor；micro—capacit髓ce；me嬲uring 电容式传感器是将被测量的变化转换成电容 般大于100pF)远远大于系统的电容变化值，且 量变化的一种装置。电容式传感器具有结构简 杂散电容会随温度、结构、位置、内外电场分布及 单、分辨力高、工作可靠、动态响应快、可非接触测 器件的选取等诸多因素的影响而变化，同时被测 量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工 电容变化范围大旧J。因此微小电容测量电路必 作等优点已在工农业生产的各个领域得到广泛应 须满足动态范围大、测量灵敏度高、低噪声、抗杂 用uJ。例如在气力输送系统中，可以用电容传感 散性等要求。 器来获得浓度信号和流动噪声信号，从而测量物 l 充／放电电容测量电路 料的质量流量；在电力系统