滤波器封装盒体气体泄漏失效分析.PDF

滤波器封装盒体气体泄漏失效分析 叶建海，包生祥，马丽丽，庄立波，张德政 （电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 ６１００５４） 针对滤波器封装盒体气密性检查不合格的问题，运用扫描电镜以及电子探针能谱仪分 摘 要： 　 别对气密性检查合格和不合格的盒体进行了微观结构和成分的分析比较，找出了盒体气体泄漏失 效的原因。结果表明：由于气密性检查不合格的盒体材料硅含量偏高，且多以片状、颗粒状形式析 出于铝合金表面，因而在此处产生了应力集中，导致了细微裂纹的产生；同时过高的硅含量还破坏 了液相金属的焊接熔合性能，降低了熔合区域金属的致密度，使其容易产生焊接缺陷；上述两种原 因共同作用最终导致盒体的气密性不合格。最后根据分析结论提出了改进措施。 滤波器；铝硅合金；气密性；封装盒体；失效分析 关键词： 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＰ２０４ Ｂ １００１４０１２２０１１０３０１９２０４ 　　　 　　　 犔犲犪犽犪犲犉犪犻犾狌狉犲犃狀犪犾狊犻狊狅犳犘犪犮犽犪犲犅狅狓犝狊犲犱犳狅狉犉犻犾狋犲狉 犵 狔 犵 ， ， ， ， 犢犈犑犻犪狀犺犪犻犅犃犗犛犺犲狀狓犻犪狀 犕犃犔犻犾犻犣犎犝犃犖犌犔犻犫狅犣犎犃犖犌犇犲狕犺犲狀 犵 犵 犵 （ ， ＳｔａｔｅＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｈｉｎＦｉｌｍｓａｎｄＩｎｔｅｒａｔｅｄＤｅｖｉｃｅｓＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄ ｙ ｙ ｇ ｙ ， ， ） Ｔｅｃｈｎｏｌｏ ｏｆＣｈｉｎａＣｈｅｎｄｕ６１００５４ Ｃｈｉｎａ ｇｙ ｇ ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋ＡｉｍｅｄａｔｔｈｅｒｏｂｌｅｍｏｆａｓｌｅａｋａｅｏｆｔｈｅａｃｋａｅｂｏｘｕｓｅｄｆｏｒｆｉｌｔｅｒＳＥＭａｎｄＥＤＳｗｅｒｅｕｓｅｄｔｏ ｐ ｇ ｇ ｐ ｇ ｃｏｍａｒｅａｎｄａｎａｌｚｅｔｈｅｄｉｆｆｅｒｅｎｔｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｅｌｅｍｅｎｔｃｏｍｏｓｉｔｉｏｎｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｕａｌｉｆｉｅｄａｎｄｆａｉｌｕｒｅ ａｃｋａｅｂｏｘ ｐ ｙ ｐ ｑ ｐ ｇ ， ｓａｍｌｅｓａｎｄｔｈｅｆａｉｌｕｒｅｃａｕｓｅｓｗｅｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｅｄｔｈａｔｔｈｅｈｉｈｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｓｉｌｉｃｏｎｗａｓｒｅｃｉｉｔａｔｅｄｏｎ ｐ ｇ ｐ ｐ ｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆａｌｕｍｉｎｕｍａｌｌｏ ａｃｋａｅｂｏｘｍｏｓｔｌｉｎｔｈｅｆｌａｋｅａｎｄ ｒａｎｕｌａｒｆｏｒｍｓ．Ｔｈａｔｒｅｓｕｌｔｅｄｉｎｓｔｒｅｓｓｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ， ｙｐ ｇ ｙ ｇ