太阳能电池生产线中的等离子体刻蚀机的研制.pdfVIP

- 电 子 工 业 苣 用 设 备 · IC制造工艺与设备 · 太阳能电池生产线中的新型等离子 体刻蚀机的研制 陈特超 ，谢利华 (中国电子科技集团公司第四十八研究所 ，湖南长沙410111) 摘 要 ：介绍 了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造 、 x 间-z-单的工艺试验结果。与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比，它大大提高了生产 产能，减少了设备维护工作量。该设备操作简单 ，是一种 实用、高效的生产型工艺设备。 关键词 ：等离子体 ；反应离子 ；刻蚀原理；工艺实验 中图分类号 ：TM914．4 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2010)08-0041—04 SolarCellProductionLineinNew PlasmaEtchingM achine CHEN Techao．XIELihua (The48thResearchInstitute，CETC，Changsha410111，China) Abstract：Thisarticledescribesforsolarcellproductionprocessinnew plasmaetchingmachine．It’S describesitsfunctions，structures，andasimpleprocessoftestresults．Anditcomparedtotheusedof old—fashionedplasmaetchingmachineinwidespreadproductionline，whichgreatlyimprovesproduc- tivity，reducesthemaintenanceeffort．Thisequipmenteasytohandle，itisapracticalandefficientpro- ductionprocessequipment． Keywords：Plasma；Reactiveion；Etchingprinciple；Processtest 等离子体刻蚀是太阳能电池片生产工艺中的 l 工作原理 一 项关键技术，它的效果直接影响太阳能 电池 的漏 电流和开路 电压，继而影响电池的转换效率。整机 1．1 等离子体刻蚀原理 采用 OMRON公司的CJ1M 型 PLC和NS8触摸屏 等离子体是物质的一种存在状态，是特殊情况 设计实现全 自动控制，该设备 已在实际生产 中得到 下，物质 除以固态 、液态、气态三种状态存在之外的 成功应用 。 第四种状态，如太阳表面的物质和地球大气 中电离 收稿 日期 ：2010．08．07 电 字 工 业 专 用 设 备 - · IC制造工艺与设备 · 层中的物质 。这类物质所处的状态称为等离子体状 真空泵采用进 口干式真空泵，可靠性高 ，不会 态。在等离子体中存在下列物质：处于高速运动状 因为油的腐蚀变质而损坏，保证了真空获得的稳定 态的电子 ；处于激发状态的中性原子、分子、原子团 性 ，减少了保养维护时间。[11 (自由基)；离子化的原子、分子；分子解离反应过程 射频 电源采用进 口电源及 自动匹配系统。电源 中生成的紫外线；未反应的分子，原子等，但物质在 输 出稳定，可靠性高，寿命长，可有效地保证工艺的 总体上仍保持电中性状态 。等离子体刻蚀是在一定