半球结构亚波长光栅抗反射性质的研究.pdfVIP

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2017-09-02 发布于天津
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半球结构亚波长光栅抗反射性质的研究.pdf

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半球结构亚波长光栅抗反射性质的研究

论文第50 卷第 10 期 2005 年5 月 ( , 130022; , 130033. E-mail: ren_zb@) , . , . . 1 , −7 3.441610 , 0.46~0.7 μm, 12°; 2 , , , 23°, −4 3.11210 . ( ) , [1~4], () ( 2 ). , , R D , T( . ), h , r l. l l , ,. , , , [5~14]. , 1 , . , 2 , 3 0.02~10 μm[15], , , , . . - 3 l, [16~18]. [19]. 3 3 , I, IIIII. IIII , . . E k , u, R T i 1 mn mn , k 1mn k3mn ,