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基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模.pdf
第33 卷 第10 期 计 算 机 工 程 2007 年5 月
o Computer Engineering May 2007
V l.33 No.10
·工程应用技术与实现· 文章编号：1000—3428(2007)10—0237—03 文献标识码：A 中图分类号：TP391
基于扩展混合Petri 网的晶圆制造系统建模
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周炳海 ，潘青枝，陶丽华
（1. 上海交通大学机械与动力工程学院，上海 200030; 2. 柔性制造系统技术国家重点实验室，长春 130030 ）
摘 要：提出了一种扩展的面向对象混合Petri 网（EOHPN）的建模方法：针对晶圆制造系统的复杂性，在EOHPN 模型中融入了面向对
象的抽象机制；为了减少系统建模的复杂性，引入混合Petri 网并用面向对象建模技术作了扩展。在定义EOHPN 模型的基础上，作了对象
模型的拓展。用实例描述了基于EOHPN 的晶圆制造系统的建模过程，验证了模型在处理系统建模时的有效性。
关键词：晶圆制造；Petri 网；面向对象模型；混合系统；建模
Modeling of Wafer Fabrication Systems Based on
Extended Hybrid Petri Nets
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ZHOU Binghai , PAN Qingzhi , TAO Lihua
(1. School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030;
2. National Key Lab of FMS Technology, Changchun 130030)
【Abstract 】This paper proposes a model method of extended object-orient hybrid Petri net (EOHPN). To treat with the complexity of the wafer
fabrication systems, object-oriented abstraction mechanisms such as encapsulation and classification are combined into EOHPN models. To reduce
the complexity of the systems, a hybrid Petri net is introduced and extended with object-oriented modeling technology. Development of object
models is suggested on the basis of the defined EOHPN. And a case is presented to illustrate how the proposed EOHPN is used to model the wafer
fabrication systems. The resulting model validates that the EOHPN can deal with the modeling
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