新型周期暨闪耀角可调变微型光栅系统的研发与其光通讯及生医细胞 .pdfVIP

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2017-08-02 发布于天津
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新型周期暨闪耀角可调变微型光栅系统的研发与其光通讯及生医细胞 .pdf

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新型周期暨闪耀角可调变微型光栅系统的研发与其光通讯及生医细胞

行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告新型週期暨閃耀角可調變微型光柵系統的研發與其光通訊及生醫細胞檢測之應用研究 A Novel Micro Grating System with Functions of Blaze Angle Tunable and Pitch Tunable for Applications of Optical Communication and Fluorescence Induced Bio-Cell Sorting 計畫編號：執行期限：92年08月01日至95年07月31日主持人：劉承賢博士國立清華大學動力機械學系計畫參與研究人員：楊裕勝先生國立清華大學動力機械系計畫摘要 Abstract 本計畫中我們以微機電技術製作新式 In this paper, we aimed at developing 具有週期調變功能之閃耀光柵，並藉由其調 novel blaze grating with tunable pitches via 變功能特性發展其在光通訊及生醫細胞檢 MEMS technologies. Based on the tuning 測系統之應用，希望達到簡化系統與降低成 functions of this novel grating, we could apply its applications to optical communication and 本之目的。 biomedical synthesis. 此新式調變光柵藉由週期與閃耀角的 Through the tuning of pitch and blaze 改變，具有旋轉繞射光譜及調整光譜強弱分 angle, this novel grating has the capability to 佈的能力，適用於光譜儀、投影顯示器、光 rotate the spectrum angle and adjust the 子晶體、光通訊及生醫檢測等應用。在製程 intensity distribution of the spectrum. 規劃上，我們採用體型微加工技術製作用於 Therefore, our MEMS grating devices have 週期調變之彈簧與致動器，並結