用于测定复合零级波片装配误差的装置与方法.PDF

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 105784327 A (43)申请公布日 2016.07.20 (21)申请号 201610122252.0 (22)申请日 2016.03.03 (71)申请人 南京理工大学 地址 210000 江苏省南京市孝陵卫200号 (72)发明人 韩志刚　郑权　陈磊　朱日宏　 张瑞　孙沁园　孟涛　 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 王培松 (51)Int.Cl. G01M 11/00(2006.01) G01B 11/26(2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 用于测定复合零级波片装配误差的装置与 方法 (57)摘要 本发明提供一种用于测定复合零级波片装 配误差的装置，包括宽带光源、第一光阑、第二光 阑、第一偏振片、第二偏振片、旋转调整架、控制 器、多通道光栅光谱仪以及计算处理装置，被测 定复合零级波片安装在旋转调整架上，并且位于 第一偏振片、第二偏振片之间，通过旋转被测定 复合零级波片，实现谱域移相，从而提出光谱数 据初相位，在提取光谱数据初相位的情况下，通 过列文伯格-马夸尔特法拟合椭偏光特征参数， 获取装配误差。 A 7 2 3 4 8 7 5 0 1 N C CN 105784327 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种用于测定复合零级波片装配误差的装置，其特征在于，包括宽带光源、第一光 阑、第二光阑、第一偏振片、第二偏振片、旋转调整架、控制器、多通道光栅光谱仪以及计算 处理装置，被测定复合零级波片安装在旋转调整架上，并且位于第一偏振片、第二偏振片之 间，其中： 宽带光源，用于向被测定复合零级波片提供照明； 第一光阑，置于宽带光源与第一偏振片之间，并且位于被测定复合零级波片之前，用于 限制照明光束的发散； 第二光阑，置于第二偏振片与多通道光栅光谱仪之间，并且位于被测定复合零级波片 之后，用于限制照明光束的发散； 作为起偏器的二向性偏振片，作为第一偏振片，置于第一光阑之后； 作为检偏器的二向性偏振片，作为第二偏振片，置于第二光阑之前； 旋转调整架，用于带动被测定复合零级波片转动； 控制器，与所述旋转调整架连接，用于控制旋转调整架的运动； 多通道光栅光谱仪，均置于第二光阑之后，用于采集随着波长变化的光谱数据，即随着 波长变化的相对光强值； 计算处理装置，分别连接至所述控制器以及多通道光栅光谱仪，用于向控制器施加控 制指令以调整旋转架旋转的位置以实现不同角度下光谱数据的采集，以及根据多通道光栅 光谱仪采集的光谱数据测定装配误差。 2.根据权利要求1所述的用于测定复合零级波片装配误差的装置，其特征在于，所述直 流光源为直流稳压光纤光源。 3.根据权利要求1所述的用于测定复合零级波片装配误差的装置，其特征在于，所述旋 转调整架为圆盘形旋转调整架。 4.根据权利要求1所述的用于测定复合零级波片装配误差的装置，其特征在于，所述第 一光阑和第二光阑为可调光阑。 5.根据权利要求1所述的用于测定复合零级波片装配误差的装置，其特征在于，所述计 算处理装置被设置成根据多通道光栅光谱仪采集的光谱数据并按照下面的方式测定装配 误差：使用复合零级波片的琼斯矩阵乘积模型和复合零级波片的特征向量的参数模型建立 复合零级波片装配误差和椭偏光特征参数之间关系，再通过波片旋转实现谱域移相，获取 多组光谱数据进行处理，以提取椭偏光特征参数，最