真空箱式氦检漏系统介绍和维修.pdfVIP

真空箱式氦检漏系统介绍及维修 一. 氦检基本原理 二. 氦检基本结构 三. 常见故障维修 四. 设备重点维保 五. 设备5S及点检 一.氦检的基本原理 1.1 检漏方法： 1.2 气密的常识 1.3 气密的常识  下图为漏孔的等效直径和漏率范围的关系（一个大气压下） 1.4了解漏率的计算  漏率就是根据气体流量计算的  气体流量 = 容积 x 压强 / 时间  Q = p · V / t  单位：毫巴·升/秒（mbarL/s) 大气压·毫升/秒 乇·升/秒 帕·米³/小时(pam³/s) 1.5什么是氦检  氦检就是利用氦气检漏的设备  为什么要用氦气检漏呢？ 因氦气的分子结构小，能穿过较小的漏孔并且氦气在空气中的含量较少(只有5 ppm即百万分之 五), ，从而不会对本底产生影响。氦气的安全性高，无毒，不易燃，不污染环境，不与其他物质反应， 可混合到任意浓度。所以氦气是检漏的最佳气体。  氦气检漏的两种模式 1、吸入模式——在大气压状态下，用检漏仪的吸枪对被测件进行氦气泄漏检测。 （精度10 ˉ 7） 2、真空模式——在真空状态下，用检漏仪检测被测件泄漏在真空系统中氦气的含量。（精度10¯12）  氦检采用真空模式 1.6氦检检漏过程  下图是真空箱检漏过程原型图 真空箱 工件内部充高 真空箱 工件内部放氮， 压氮，根据压 抽真空至800pa， 力衰减，检大 工件 漏 工件 充入氦4.15Mpa 1 2 真空箱粗抽真空 真空箱精抽真空 真空箱 真空箱 工件内部放氦， 工件 接近大气压后通 工件 过真空泵抽氦回 收 4 真空箱精抽真空， 3 真空箱充入空气至大气压 同时检漏仪开检 1.7真空箱式氦检漏系统工艺流程图 真空箱 待检工件 关箱门 安装工件 真空箱抽真空 大漏及强度检测 不合格 合格 大漏工件显示 抽真空 本底抑零 充氦气 真空模式，微漏检测