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2017-09-03 发布于天津
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基于模板合成法的纳米金柱阵列制备

第卷第期压电与声光３４６Ｖｏｌ．３４Ｎｏ．６　　　　年月２０１２１２ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳＤｅｃ．２０１２　　文章编号：（）１００４２４７４２０１２０６０９５５０３－－－　　基于模板合成法的纳米金柱阵列制备，１２１，韩国强陈玉琴（，；，）福州大学机械工程及自动化学院福建福州中国科学院福建物质结构研究所福建福州１．３５０１０８２．３５０００２：，（），摘要基于模板合成法在多孔氧化铝ＰＡＡ模板上用磁控溅射沉积金薄膜制备出高度有序的纳米金柱阵　　　。（）（）。列结构采用扫描电子显微镜ＳＥＭ和原子力显微镜ＡＦＭ对所加工的金柱阵列结构进行表征所加工的纳米，，，，结构为柱状金纳米阵列金柱直径约为６０ｎｍ金柱尖端直径约２０ｎｍ高度为３００６００ｎｍ相邻金柱平均间   ～。（），，。距约为１００ｎｍ纳米金柱阵列结构与多孔氧化铝模板ＰＡＡ貌一致阵列分布规则柱体大小均匀：；；；；关键词多孔氧化铝模板磁控溅射纳米金柱阵列扫描电子显微镜原子力显微镜中图分类号：文献标识码：ＴＢ９２Ａ　　　ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆＧｏｌｄＮａｎｏｒｏｄＡｒｒａｓＢａｓｅｄｏｎＴｅｍｌａｔｅＳｎｔｈｅｓｉｓＭｅｔｈｏｄ　　　　　　　　　ｙｐｙ，１２１，ＨＡＮＧｕｏｉａｎＣＨＥＮＹｕｉｎ　ｑｇ　ｑ