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人工心瓣热解炭涂层的密度和孔隙结构研究

年第 期( )卷 09072 2015 9 46 文章编号: ( ) 1001G9731201509G09072G04 人工心瓣热解炭涂层的密度和孔隙结构研究∗ , 张建辉 宋银超 ( , ) 杭州电子科技大学 机械工程学院 杭州 310018 : 摘 要 研究了人工心瓣热解炭涂层的密度和孔隙     2 材料和方法 . 结构 采用准稳态流化床化学气相沉积工艺制备出人 , 、 工心瓣用高密度各向同性热解炭涂层 利用密度计 扫 2.1 材料制备 、 、 , 描电镜 透射电镜 压汞仪等分析了热解炭涂层的密度 采用准稳态流化床化学气相沉积工艺 以丙烷为 . : , , 和孔隙结构 结果表明 高密度各向同性热解炭的孔 碳源 三氯甲基硅烷为硅源 氩气作为稀释气体和保护 , . 隙主要是由类球形生长特性间0.83 m左右的较大孔 气体 氧化锆颗粒作为热载体并承托基体 利用高频 μ , 隙和62nm左右的中等孔隙以及类球形生长特性内缠 感应圈将流化床炉加热到 1250~1350℃ 通入保护 , , , 结体结构所形成的微孔隙构成 缠结体之间形成的微 气体 待气体流量稳定后加入热载体 炉内产生流化床 , , , 孔隙能够导致热解炭密度的降低 热解炭类球形颗粒 后 将石墨基体送进流化床内 当热载体和基体达到一 , 的多少也会对高密度各向同性热解炭的密度造成影 定温度并稳定后 从炉底通入一定流量的丙烷和硅烷 . , , 响 混合气体 丙烷和硅烷进行热分解反应 生成的热解炭 : ; ; ; , 关键词 人工心瓣 热解炭 密度 孔隙结构 和碳化硅微粒沉积在基体表面 沉积到一定厚度后停   [ ] + 11 中图分类号:

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