一种透反射比测试系统的非线性校准.pdfVIP

第 29 卷 第 6 期 宜春学院学报 ( 自然科学) VLo 29 ，N氏6 2X( y7 年 21 月 JOUnI la of y ichun Unvie ris yt ( nuta 间 cs ience ) D倪 2 以y7 一 种 透 反 射 比测试 系统 的非 线 性 校 准 黄黎红，一2，陶纯堪2，杨晓春2 ( 1 莆田学院 电子信息工程系，福建 莆田 35 1100 ; 2 南京理工大学 电光学院，江苏 南京 21 X)( 94 ) 摘 要: 丈章详细介绍了一种透反射比浏试仪的浏试原理及校准方法 实脸表明，该方法简单有效，经校准 后仪器的精度有大幅度的提高 关健词: 透扮比; 反射 比; 校准 中图分类号: TH74 1 4 文献标识码: A 文章编号: 176 1一38 OX 2《以y7 ) 06 - 以拓6 一03 A O 山b o t loo M ebt do of r M 招u 叮e 口口en 妞 of Tr n 石tt 。。即 nd R elf 曰嘴Rn份 HuANGu 一honsl一2，AT o cuhn 一k耐 ，YANG xi oa 一。hun 平 ( 1 忍肠以m几如 乃诱，几川对必n 公呵ine e 咭‘刀卿月蒯瓜，尸以俪 刃h动e”妙，尸以俪 35 11 00 ，hc nia ; 2 E阮。刀几ica 邃你 交‘以反爪劝止，Na jni 吧Un 滋。勿of 反众nce and Te ChnO 佃盯，Na 蟒咭21 以为4 ，hC nia ) 川比tr ad : T七e te t 州nc inle na d nonline ra cila brta ion me th记rof me as ure mnte o of trna s面tt na ce na d 比n 。目通nce i 。intD记u 以妇ni de t苗1 in 而s pape r 仆e xe 伴 m‘朋t inid tca es ht at hti s me ht do is ve 守simple na d eeff cti ve ，ht e prce isino of appe 阳t 山has impro vde ve叮we止 Key wo r ds : Tra 朋而nance ; R祖ectance ; Cila brta ion 薄膜材料特别是各种光 电功能薄膜 ，由于在微 电子器 线性等，测试精度较低 ，仪器重复性差，对光源波动的影 件、光学薄膜器件、太 阳能电池、背投技术以及有机发光 响，常采用双光路法予 以消除; 对检测系统的非线性，可 二极管等方面的广泛应用 ，一直受到材料学界的高度重视 采取校准的办法 本文提 出采用双样 品法和数据 内插法， 反射比 ( 此月伙切口ce) R、透射比 ( trans面t仙nLce) T 和吸收 可有效地去除系统的非线性的影响 比 ( 曲即甲之朗Ce) A 作为表征薄膜光电特性的光学常数，不 1 工作原理 仅是薄膜设计和制备所必需的重要参数 ，而且也是开发新 实验装置如图 1 所示 ，激光器发 出的光经滤光片、偏 型光电薄膜材料 的一个重要依据 ，如在多层 电介质膜、激 振片后成为 自然光、5 或 P 偏振光，经分光镜后分成两束 光器反射镜、干涉滤波片、太阳能收集器的选择性镀膜等