微型溅射离子泵在X射线管制造中的应用.pdfVIP

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2017-06-23 发布于浙江
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真空电子技术 VACUUM ELECTRONICS X 杨美民, 盛久山 ( , 310000) Mini Sputter Ion Pump and Its Application in the XRay Tube Manufacture YANG Meimin, SHENG Jiushan (H angzhou Wandong Electron Co , LTD , H angzhou 310000, China) Abstract: This article described the desi n, principle of the mini ion pump and its application in the pumpin process of Xray tube manufacture. Keywords: Sputter ion pump; Xray tube;Titanium : X : ; X ; :TQ051. 4 : B : 2002) , CT , , , , X , , , X ( CT ) , X X : , , , 99% ; ! , , ( 1000 ) X , , X , , 1 1, : 1 , 2 , 3 , 4 , 5 ( X ) , 6 , 1 ; , X , , , , , 10 mm , 0. 1~ , 1 L/ s, 3~ 5 0. 15 T3000~ 4000 V , , , , 2 , X , , : 2 , ( a) , ( b) 2002 年 59 No. 6 真空电子技术 VACUUM ELECTRONICS ( 2) : SAES 127 , , 127 350 , , X 350 , , , 2 X X , , X , , , 1 ∀ 10- 3 Pa, 21 , 24 h,